扩散硅谐振式压力传感器同频干扰的建模与消除

为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺,提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器,并采用电磁激励实现传感器的闭环控制.实验中发现:由于采用扩散硅材料,传感器受到较为严重的同频干扰影响,因此,消除传感器的同频干扰成为需要解决的一个主要问题.通过对采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器微结构进行分析,建立了传感器主要噪声来源同频干扰的等效电路模型,据此提出一种新的不对称双端激励解决方法.实验结果表明,该方法可有效地降低传感器的同频干扰,传感器的信噪比由1.53提高至35,为传感器闭环激励和检测提供了有效的手段.     

微结构谐振梁式压力传感器研究

利用微电子机械加工技术成功地研制出电势激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器,传感器的谐振器的品质因素Ｑ值大于１７０００。采用扫描检测方式和闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性,其压力测试范围为０￣４００ｋＰａ,线性相关系数为０．９９９９５,测试精度小于０。０６％Ｆ．Ｓ。     

农村饮水安全工程的建设与管理

随着我国水利事业的不断发展,国家对民生工程非常重视。农村饮水安全问题是关系到国计民生的大事,针对当前本地区农村饮水安全工程现状以及供水中存在的实际问题,采用适合本地区农村饮水安全工程实际的建设管理办法,从工程的规划设计、建设管理、竣工验收及后期管理制度的建设等方面进行了阐述。通过实践,为推进城乡供水一体化进程探索一条良好的途径。     

小流域治理中的土壤改良效果分析

为寻求改良土壤的不同水土保持措施,选择沈阳市东陵区祝家青草沟小流域为研究区,通过在研究区布设土壤养分定位观测点,流域治理期间对流域土壤养分状况进行跟踪分析。在措施实施期的每年6月和10月,分别在布设的土壤定位监测点采集土样,对TN、TP、TK、碱解氮、速效磷、速效钾等关键土壤养分指标进行测定。实验结果表明,该研究实施的纵向多层次配置与水平近、中、远环状结构配置相结合的小流域措施配置体系,能够有效改善区域土壤养分状况,满足当地农业可持续发展的要求,可在同类地区应用推广。     

一种扭摆式硅微机械加速度传感器

介绍了一种基于体硅微机电系统(MEMS)工艺制作的扭摆式硅微机械加速度传感器,对制作过程的一些工艺问题进行探讨,并提出相应的解决办法,主要涉及到硅-玻璃阳极键合、结构释放等关键工艺。对测试结果进行了初步分析,分辨力可以达到1mgn,测试±1gn范围内线性度可以达到99.99%。     

LAPS控制和测试系统的设计和实现

光寻址电位传感器(LAPS)是一种基于电解质溶液-绝缘层-半导体(EIS)结构的光、机、电一体化的传感器系统,主要用于进行生物化学多参数测量.主要简述了LAPS的基本原理,并且在此基础上设计和实现了整个LAPS控制和测试系统,包括流通系统、LED光源阵列、单片机控制系统等部分,为生物化学多参数分析提供了检测平台.     

"长距离深埋大直径雨水管"人工挖掘顶管与泥水平衡式顶管联合作业施工技术

通过济青高铁临淄北站连接线配套2×DN2000大直径雨水管线顶管工程的施工实践,讲述人工挖掘顶管和泥水平衡顶管联合作业的施工技术,该施工工艺既保证了顶管施工质量,同时也保证了施工进度和安全,同时大大降低了施工成本,对类似工程的顶管施工具有一定的参考价值。     

尾砂胶结充填法采矿在毛坪一矿的应用研究

【摘要】针对新发现的高硫铁破碎厚大矿体，毛坪一矿尝试运用尾砂胶结充填法采矿并取得成功，该采矿方法安全高效，矿井当年出矿量即达到25万t，突破历史新高，取得了良好社会和经济效益。     

压电谐振滤波器的高频谐波响应

提出压电谐振滤波器不能很好地滤除高频谐波的问题，结合一个具体例子理论推导了压电谐振滤波器存在许多干扰谐振频率，从而不能有效滤除一些特定频率的干扰信号．为了解决这个问题，提出一种改进型的静电激励谐振滤波器．为了说明其可行性，具体分析了改进型双端固支微梁静电激励谐振滤波器，理论推导证实基于双端固支微梁的各阶振型正交的原理，通过适当调整激振电容的间距，双端固支微梁的高阶振动模态受到很好的抑制，因此这种谐振滤波器可以有效阻止滤波器中心频率的高频谐波的通过．     

一种硅梁谐振加速度计结构设计与模拟分析

为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于微杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析。该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻蚀以及硅玻璃阳极键合等体硅工艺制作。模拟结果表明新结构提高了加速度计灵敏度,有效改善了交叉灵敏度、线性度、温度稳定性等。