CCD多路开关组件的研制

采用三层多晶硅交迭栅三相埋沟结构，设计并研制成功了６０路ＣＣＤ多路开关动态范围≥５０ｄＢ，转移效率≥９９．９９％；非均匀性±５％；最小输入５ｍＶ；最大输入信号２Ｖ；输入积累时间１３４μｓ；串行移出时间２μｓ；输出幅度≥２Ｖ。文章阐述该器件的结构、工作原理、特点、用途、器件参数分析及影响器件因素和专项工艺研究。     

电子束蒸发技术

本文介绍电子束蒸发的基本原理、关键技术以及一些典型应用实例。     

红外CCD多路传输器的研制

成功地研制了八元线阵红外ＣＣＤ多路传输器。该器件为三相结构，采用埋沟和三层多晶硅技术。器件动态范围≥４５ｄＢ，转移效率≥９９．９９％，非均匀性±５％，信号输出幅度≥８００ｍＶ，每个输出信号时间为９６．６μｓ，驱动电压±１５Ｖ。     

红外CCD多路传输器的研制

成功地研制了八元线阵红外ＣＣＤ多路传输器，该器件为三相结构，采用进沟和三层多晶技术。器件动态范围≥４５ｄＢ，转移效率≥９９．９９％，非均匀性±５％，信号输出幅度≥８００ｍＶ，每个输出信号时间为９６．６μｓ，驱动电压±１５Ｖ。     

热壁 LPCVD 氮化硅薄膜的制备及其应用

论述了热壁低压化学汽相淀积（ＬＰＣＶＤ）制备氮化硅薄膜的工艺过程。对氮化硅薄膜进行测试分析，用它作介质膜、钝化膜，并作出了多种性能良好的光电器件。     

真空镀膜机的X射线形成及其防护

本文仅对真空镀膜机产生的X射线的形成、对人体的危害、计算及其防护等进行简单的分析和计算。     

国外真空蒸发自动化

本文介绍了国外真空蒸发自动化内容、蒸发设备自动控制典型方框图以及自动蒸发设备发展状况。     

液压系统的节能

当前,各工业国都对液压传动的节能问题十分重视,总的来看不外乎两大途径:一是提高液压系统的效率;一是采用高水基液为工作介质。本文以提高现有液压系统效率谈一些粗浅的看法。液压系统能源损失的主要原因液压传动要进行两次能量转换,即电动机(或发电机)将机械能转换成液压泵的压力能,泵再经液压缸(或马达)将液压能转换为机械能,所以效率较低。因此,能源的损失可用系统效率来判断。我们知道效率是输出功率与输入功率之比,也可视为机械效率与容积效率的乘积来表示,如下式     

液压工作介质发展新趋势——国外水基液研究试验、应用述评

本文仅就所了解到的国外有关水基液研究、试验、应用情况做些介绍并谈谈个人粗浅看法。目前国外研究应用较多的水基液主要有高水基液、转化乳液和水