纳米ZnO薄膜制备及液态源掺杂

用真空蒸发法在玻璃和单晶硅片 (10 0 )上制备Zn薄膜 ,然后对Zn薄膜进行氧化、热处理获得纳米ZnO薄膜。对在硅片上制备的Zn薄膜一次性进行高温掺杂、氧化获得纳米ZnO∶P和ZnO∶B薄膜。研究不同氧化、掺杂温度和时间对薄膜结构、电学性能的影响。结果表明 :氧化温度和时间对ZnO薄膜结构影响较大 ,液态源掺P可明显改善纳米ZnO薄膜的导电性能、结构特性和化学组分     

SnO_2/SiO_2双层薄膜的湿敏特性

本实验是在单晶硅片上热生长一层ＳｉＯ２，然后用真空淀积的方法获得一层超微粒ＳｎＯ２薄膜，通过对ＳｎＯ２／ＳｉＯ２薄膜电阻与相对湿度关系的测试，发现阻湿的线性特性和灵敏度明显优于ＳｎＯ２薄膜和ＳｉＯ２薄膜，测湿范围明显展宽。     

多晶硅湿敏元件的研究

用外延生长法,在具有二氧化硅层的单晶硅衬底上外延生长一层多晶硅,采用平面工艺在其上形成具有数千个矩形小孔的精密阵列,构成多晶硅阵列式湿敏元件.对元件的特性进行了研究,其吸湿响应时间为280ms,脱湿响应时间为620ms.在理论上,引入两种水分子与阵列作用机制,其一,水分子与多晶硅晶界的作用;其二,水分子与阵列结构的碰撞作用.由此计算了元件阻值随相对湿度变化的关系为R=R_0(1-Ax%)/(1+Dx%)将理论值与实验值进行比较, 两者吻合较好.     

XPS Studies on Rare Earth Oxide LSCO／YSZ Electrodes

The X-ray diffraction spectra and X-my photoelectron spectroscopy were measured for Sr-doped Lal-xSrx CoO3 materials with perovskite structure prepared by the solid-state reaction method. The influence of heat-treatment tempera-ture on the average crystal size of Lal-xSrx CoO3 was studied. The surface chemical states of Lal-xSrxCoO3 cathodes with different Sr-doped content were discussed. The experimental results show that average crystal size of Lal-xSrxCoO3 under the condition of heat-treatment in the range of 900- 1200℃ is larger than that at other temperatures, which is of benefit to forming porous electrodes. When La is replaced by Sr gradually, the oxygen vacancy concentration increases. It is of benefit to enhancing the transport property of oxygen ion.     

风能-太阳能混合发电系统研究与应用

利用风能、太阳能混合发电系统进行一年四季均衡供电,为无电网地区提供可靠的电力供应,报道了发电系统的构成和应用情况。     

风光互补正弦波逆变电源的智能化设计

介绍了智能风光互补单相正弦波输出的控制与逆变一体化逆变电源的硬件结构、工作原理及其软件设计方法,并运用PSpice仿真手段分析验证。该技术已成功地应用于600W,220V/50HzDC/AC风光互补单相正弦波输出的控制与逆变一体化逆变电源的设计开发中,并即将投入批量生产。     

ZrO_2氧敏元件特性研究

研究了一种氧化物半导体型氧敏元件的氧敏特性。该元件制作工艺简单，对Ｏ＿２具有较高的灵敏度和很好的选择性。     

真空气相沉积碲化镉薄膜特性研究

用一种简便的制备CdTe薄膜的方法－真空气相沉积法，在玻璃衬底上沉积CdTe薄膜。在真空度为133μPa真空室中，同时蒸发Cd Te材料，形成CdTe薄膜。为改善其性能，采用改良Cd:Te的原子配比和在Cd Te材料中掺杂In，用N2作保护气体，要不同温度下对薄膜进行热处理。通过SEM、XRD，SAM和AES等测试分析，分别研究了热处理前后CdTe薄膜的结构、组分及工艺条件对薄膜性能的影响。