电源对介质阻挡放电(DBD)激发准分子(XeCl*)辐射的影响

本文对电源参数如电压幅值、频率及正负电压对介质阻挡放电激发准分子XeCl 紫外 (30 8nm)辐射的影响进行了实验研究。结果表明 ,UV辐射随电压幅度的增加而增强 ,但效率下降 ;提高频率 ,增加了放电次数 ,导致UV辐射的增强 ;此外 ,在较高的频率下 ,电压上升沿变陡 ,使得电子获得的能量主要用于原子的激发和电离。正、负电压放电的不对称源于电极结构的不对称而引起的放电过程的差异 ,负电压内电极可向放电管中馈入更多的能量 ;比较发光光谱可判断生成准分子的等离子体化学过程没有明显的差别     

Study of SiO_2 Films Prepared by Electron CyclotronResonant Microwave Plasma

1.IntroductionInoptIcaltelecommunlcatlons,ltisnecessarytodevelopoptlcalfibresystemswithhighertransmls-sionefficlencyandnetworkflexlblllty.Todate,hott'-ever,theyhavebeenfarfromreallzation,baslcallybecauseofdifficultiesinprocessesoffabricatingpla-naropticalwaveguidesanddeviceswithlowbendandtransmlsslonlosses[l1.Whicharedirectlyre-liedonopticalwaveguidefilmperformancesuchashighrefractiveindexandlowsurfaceroughness.Assilicafilmsarecapabletobedepositedoncrystallinesiliconsllbstrateandfurtherformac…     

磁控溅射TiN膜并智能化处理的液位传感器研究

提出用磁控溅射在弹性元件的表面生成TiN薄膜的方法，阐述了二元线性插值法智能补偿的原理和效果，实现了响应快和精度高的要求。     

一种新型的紫外光源—准分子紫外灯

非相干性紫外或真空紫外光源的应用已成为众多工业部门中一项基础性和关键性的技术,本着重介绍一种使用介质阻挡放民激发紫外或真空紫外辐射的新型光源－－准分子此外灯,包括准分子的形成以及光源的紫外辐射效率,最后,对影响准分子辐射的因素如气压,气体组成,温度及电源频率和电压进行了初步的分析。     

The Characteristics of Dielectric Barrier Discharge and its Influence on the Excimer XeCl* Emission

1. IntroductionThere are many reports concerning the dischargemodes at high pressure. The modes of dielectricbarrier discharge (DBD) could be divided mainlyinto two kinds f filament discharge or micro-dischargeand glow discharge or diffused discharge. The fila-ment discharge is a typical characteristic of traditional ozone generator [l], but the characteristics ofDBD in monoatomic gases such as helium, neon andargon at high pressure are'Pfglow-like diffused dis-charge [2]. For air, three co…     

反应气压对MWPCVD金刚石膜中 非金刚石相碳含量的影响

在水冷反应室式MWPCVD装置中以CH4和H2为反应气体进行了金刚石膜的沉积实验,研究了反应气体的压强对金刚石膜中非金刚石碳相含量的影响。实验发现,当微波输入功率较小时,随着反应气压的上升,沉积膜中非金刚石相碳的含量单调下降;当微波输入功率较大时,沉积膜中非金刚石相碳的含量先随着反应气压的上升而降低,后又随着反应气压的上升而稍稍增加。     

HT-6B托卡马克装置运行水平(英文)

介绍了HT-6B托卡马克装置运行情况,分析其运行区扩大过程,讨论了主要参数的提高情况。在归一化运行图上与国际上几个著名装置对比表明:在欧姆加热条件下,HT-6B的运行区域已达到国际上著名装置的同等水平。     

用于诊断磁约束等离子体的软X射线能谱仪

文章描述HT-6M托卡马克装置上的软X射线能谱仪的组成。给出HT-6 M弦积分的软X射线连续谱的解析表达式,计算其强度并据以进行真空准直系统的物理设计。首批实验结果表明物理设计合理,谱仪性能良好。     

大面积平面表面波等离子体的研究

低温等离子体技术已被广泛应用于各高科技领域 ,并且应用范围仍然在迅速拓展 ,这对等离子体本身提出了更高的要求 ,平面大面积、高密度均匀等离子体源是目前最迫切的需求之一。作者主要介绍表面波激发等离子体的原理 ,并在自行研制的一套平面大面积表面波等离子体源上 ,利用静电双探针测量了其Ar气放电的角向、径向和轴向的电子密度和温度。发现角向电子密度和温度均匀性与耦合天线及气压密切相关而与入射功率无关 ;径向电子密度和温度均匀性则与入射微波功率及气压密切相关而与耦合天线无关。因此 ,通过优化耦合天线来获得径向参数的均匀性及微波耦合效率 ,并增大微波功率、选择适当的气压 ,可产生大面积平面高密度等离子体     

容性耦合射频(CCRF)放电等离子体特性实验研究

利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定 ,算出放电管的总阻抗 ,结合放电管的等效电路 ,对容性耦合射频 (CCRF)激励激光器放电特性进行研究 ,得出容性耦合射频激励激光器等离子体的伏安特性的曲线 ,以及等离子体电阻、容抗与气体压强、放电电流之间的实验曲线 ,在Godyak射频放电模型的基础上得出等离子体的电子密度 ,并同内置铜电极射频激励铜离子激光器阻抗特性进行了比较。