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在光谱椭偏测量中,玻璃基底的背反射会给测量结果造成较大影响。针对平板显示器件玻璃基底表面氮化硅镀膜进行了椭偏测量和模型计算。采用相干背反射模型“空气基底空气”计算并拟合得到与厂商数据符合较好的玻璃基底折射率。对氮化硅薄膜采用Tauc Lorentz色散模型进行了分析拟合,讨论了薄膜与基底界面层、表面粗糙度对光学常数及模型拟合的影响,表明在薄膜与基底间晶格失配的情况下,界面层的引入对改善拟合度是必要的。给出了薄膜体系的光学常数、薄膜结构的分析结果。 相似文献
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介绍了一种具有智能接口技术的多功能辐射光度计.仪器主机有较高精度和较好重复再现性的微弱电流测量仪器,采用开关调制、差分对消技术,消除微弱电流测量系统的直流误差.仪器主机配备不同的探测器,可以组成不同的辐射度计或者光度计.探测器和主机间通过智能接口连接,主机通过读取探测器内存储芯片上的数据自动识别探测器类型,从而自动选择... 相似文献