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采用ＰＥＣＶＤ技术，以Ｐｂ（Ｃ２Ｈ５）、ＨｉＣｌ４和Ｏ２为反应源，在１７０℃温度下沉积了ＰｂＴｉＯ３功能薄膜，分别对薄膜进行了Ｘ射线荧光光谱、Ｘ光电子能谱、Ｘ射线衍射光谱和扫描电镜的化学组成及形貌等分析。 相似文献
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In0.53Ga0.47As表面钝化及降低界面态密度的方法 总被引：1，自引：1，他引：0
采用ＰＥＣＶＤ技术，以ＴＥＯＳ为源，对Ｉｎ０．５３Ｇａ０．４７Ａｓ材料进行表面钝化，研究了ＳｉＯ２／Ｉｎ０．５３Ｇａ０．４７Ａｓ的界面态，提出降低界面态密度的方法，使其降低到８．５×１０＾１０ｅＶ＾－１ｃｍ＾－２。 相似文献
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本文综述了集成气体传感器的发展过程的工作机理，讨论了Ｓｃｈｏｔｔｋｙ气敏二极管、ＭＯＳ气敏二极管、ＭＯＳ气敏场效应厚膜集成气体传感器和集成气体传感器阵列。 相似文献
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气敏元件测量电路的一组优化设计 总被引：2，自引：0，他引：2
本文研究了气敏元件测量电路的一组优化设计，主要有线性升压加热源、元件电阻输出比例器、声光提示及自动回零电路等九部分。利用这组优化测试电路可直接绘出气敏元件电阻随国热电压变化的连续曲线，灵敏度精确值以及选择特性。它对气敏元件的特性研究和制作都是很有价值的。 相似文献
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气体传感器特性测量中某些现象的分析 总被引：1，自引：0，他引：1
本文对常见的SnO_2烧结型、SnO_2薄膜型以及γ-Fe_2O_3烧结型三种气体传感器进行了多方面的测量,从中发现一些主要现象与规律,并对其结果进行了简要的分析。 相似文献
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多层薄膜高性能乙醇传感器 总被引：2，自引：1，他引：1
采用PECVD方法，分别注积了SnO2-Fe2O3、SnO2-TiO2-Fe2O3等双层和三层气敏薄膜材料，制成了旁热式传感器。实验结果表明，这种多层结构的元件对乙醇有很高的灵敏度与选择性。 相似文献
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以Fe(CO)_6和TiCl_4为原料,用PECVD技术制备了Fe_2O_3-TiO_2双层超微粒薄膜.对双层薄膜的组成和形貌进行了XRD及SEM分析.同时对双层薄膜以化学镀方式进行贵金属Au的表面修饰,并对薄膜样品进行气敏特性测试,发现对CO具有很高的灵敏度与选择性. 相似文献
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薄膜型TMA气体传感器的研制 总被引：2，自引：0，他引：2
本文报道了采用等离子体ＣＶＤ方法制备Ｆｅ２Ｏ３／ＴｉＯ２薄膜材料，并用浸渍法对表面修饰了Ｉｎ，制成了检测鱼鲜度ＴＭＡ的薄膜气传感器，并具有很好的灵敏度，等。 相似文献
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半导体气体传感器主要应用于汽车的电子化、环境污染的检测和气体分析等领域,目前人们已做了大量工作.本课题组在长期的反复实验中发现,采用Fe_2O_3-SnO_2(掺杂
Ti）双层薄膜结构的气体传感器，在相同的条件下既可以检测乙醇气体，又可以检测NO_2气体．同时，不受常见的七、八种气体的干扰． 相似文献
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