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CMP系统技术与市场 总被引:3,自引:1,他引:2
葛劢冲 《电子工业专用设备》2003,32(1):17-24
概述了CMP系统技术的发展历史、发展趋势以及在IC生产中的重要性,介绍了国外CMP设备主要制造厂家的设备型号和性能及CMP设备市场分布和需求,阐述了CMP系统技术的基础研究、关键技术和国内研究概况。 相似文献
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RFCC汽油质量波动因素分析及对策 总被引:1,自引:0,他引:1
随着RFCC掺渣比的提高和原料碳含量的增加,原脱臭工艺技术无法满足产品的质量要求。通过分析RFCC脱溴汽油质量波动的原因,提出了从优化原料性质、操作参数和改变工艺方法等方面改进汽油质量,认为Merox抽提塔与固定床无碱脱臭技术相结合可提高硫醇脱除率,提高产品质量,满足汽油产品的质量指标,并具有显著的经济效益。 相似文献
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