X光多层膜反射镜的损伤与破坏

X光多层膜反射镜是软X光光学尤其是X光激光研究的重要元件。随着X光激光的发展,X光多层膜反射镜的应用日益广泛,但产生X光激光的等离子体环境给X光多层膜反射镜的应用带来困难,最突出的就是等离子体发射的X光对多层膜的损伤与破坏。通过模拟实验,给出国产Mo/Si多层膜反射镜的破坏阈值小于0.10J/cm~2。在这个剂量辐照下,多层膜表面均方粗糙度明显增加,反射率几乎降至为零。根据这些结果,该文提出了防止多层膜反射镜破坏的一些想法。