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1.
四氟化硅作为生产多晶硅及其衍生物的原料,随着电子工业的发展以及硅基产业的扩大,对于四氟化硅的需求量逐渐增加。对四氟化硅生产工艺的研究越来越引起人们的重视。详细介绍了制备四氟化硅的4种方法,含硅源物质与含氟基团物质合成法、氟硅酸盐热解法、氟硅酸法、硫酸法,综述了国内外制备四氟化硅的研究进展情况,并评述了各工艺的特点。就目前研究表明,四氟化硅制备工艺需向环保、节能、高收率方向发展。  相似文献   
2.
磷酸(H3PO4)作为一种广泛使用的化工产品,在其生产制备的过程中往往伴随大量的含氟物质产生,而氟作为一种高附加值的物质资源,对其进行回收利用已成为当今磷化工产业的主要研究方向。综述了湿法磷酸化工流程中氟回收技术的研究现状,详细介绍了氟回收技术在3个方面的国内外研究现状:气相氟回收技术、液相氟回收技术、固相氟回收技术。分析了氟回收技术原理及其优缺点,总结了氟回收各部分的技术关键点,以期促进今后氟回收技术的发展。  相似文献   
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