表面粗糙度三维测量系统

本文概述了所研制的表面粗糙度三维测量系统。讨论了测量原理、图形的扫描方式、形位误差的校正、形貌图与等高线图的绘制诸问题。使用该系统除可绘制被测表面的形貌图和等高线图外,还可自动计算出表征所测表面的某些幅度参数。     

共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响

共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响＊李鹏生于瀛洁张琢于英满（哈尔滨工业大学哈尔滨１５０００１）０引言双频激光共光路外差干涉仪测量表面微细形貌原理如图１所示［１］,光路１和光路２的干涉信号的光强由光电元件接收。通过分析计算［２］,可得如下关系式：１．...