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1.
我们介绍一个菜单方式全自动测试系统,主要用于晶体管特性分析。它是由上海冶金研究所研制的CID-1型数字电源接线逻辑控制器(简称CID)采用IEEE-488接口技术,在研制的专用软件支持下,与微机 IBMPC/XT、FLUKE 8840A数字电压表相连,构成的一个积木式智能测试系统。采用菜单方式全自动测试技术,可灵活实现各种直流特性的测试自动切换。研制的数据处理软件用以实现器件参数的优化提取。测试数据、计算结果及曲线图表可由CRT显示,亦可由打印机统一打印记录。该系统具有全自动、操作简  相似文献   
2.
本文用调Q红宝石脉冲激光器(波长6943A、脉宽30ns)以1.1~2.9J/cm~2的激光能量密度,在N型GaAs上进行激光合金化研究,试验了不同GaAs外延层浓度、不同合金层组分、不同激光脉冲次数对欧姆接触电阻率的影响。结果表明,适当能量密度激光合金化所得到的接触电阻率同加热合金化最好结果相当或更好,激光合金化表面均匀,质量好,而且不影响半导体器件内结的特性。  相似文献   
3.
DHL是用连续液相外延法在重掺杂n-_GaAs衬底上生长双异质结构外延层。在600℃下用ZnAs_2作源低温Zn扩散45分钟。用钨丝网掩蔽后,在150千电子伏的能量下,以1×101~(15)质子/厘米~2的剂量进行轰击。P面蒸发Cr-Au后再镀上~10μm的Au。衬底减薄后,在N面蒸发Au—Ge-Ni、450℃合金化一分半钟后再镀上~2μm的Au。管芯解理后,用In焊料倒装在镀Au的管壳铜柱上,DHL的条宽为12μm,腔长为300μm。各外延层组分和欧姆接触等细节列于表1。为了比较质子轰击深度对DHL特性的影响,作者把同一外延片分成两半,编号分别为801和802。801不减薄,802化学减薄掉0.8  相似文献   
4.
欧姆接触是器件工艺重要环节之一,人们在这方面进行了许多研究。对太阳电池来说,欧姆接触极为重要,它影响短路电流、填充因子等等,它直接对电池效率产生影响。迄今为止,镓铝砷-砷化镓太阳电池上的欧姆接触合金化仍是用加热方法来完成的。近年来,国内外都在研究用脉冲激光束来制备欧姆接触,其比接触电阻值已与加热合金化方法所得结果相当。和加热合金化方法相比,用脉冲激光束合金化还有下述优点:  相似文献   
5.
488接口数字电源接线逻辑控制器(简称CID)是一种采用IEEE-488接口技术与IBM-PC/XT微机联接的智能化测试装置。它与微机、数字电压表构成全自动测试和数据采集与处理系统。系统框图如图1所示。整个系统在研制的专用软件支持下,采用菜单方式实现全自动测  相似文献   
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