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1
1.
均匀辐照365nm LED光源设计及其在光刻中的应用
总被引:1,自引:0,他引:1
王向贤
汪波
傅强
陈漪恺
胡继刚
张斗国
明海
《中国激光》
2012,39(4):416001-223
优化设计了365nm紫外LED点光源阵列、聚焦透镜组的排布,实现了高强度均匀辐照的LED面光源。利用优化后的365nm LED面光源进行了接触式曝光光刻实验,所得刻写图形与掩模板图形一致。提出的基于365nm紫外LED阵列均匀辐照面光源的光刻方法具有结构简单、节能、环保等优势。
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