工艺参数对磨削硅晶圆亚表面损伤裂纹的影响

为研究粗磨硅晶圆亚表面微裂纹,采用截面显微观测法,实验研究了粗磨工艺下砂轮进给速率、砂轮转速和硅晶圆转速对晶圆亚表面裂纹的影响.结果表明:磨削后晶圆亚表面斜线裂纹和折线裂纹占70%,中位裂纹、分叉裂纹和横向裂纹占30%,裂纹形状与工艺参数的关系不大.裂纹深度从晶圆圆心向外逐渐增大,〈110〉晶向裂纹深度稍大于〈100〉晶向.裂纹深度随砂轮进给速率增大单调增加,随砂轮转速增大单调减小.裂纹深度与晶圆转速之间的关系复杂,晶圆转速增大时,裂纹深度先是减小,然后增大.提出了磨削工艺参数的优化措施.     

硅晶圆磨削减薄工艺的磨削力模型

硅晶圆磨削减薄是一种有别于传统磨削的材料加工方式。磨削减薄过程中,硅晶圆和砂轮同时绕旋转轴旋转,砂轮沿垂直方向连续进给去除材料,其中磨削力是磨削质量的决定性因素。目前,尚缺少一个用于硅晶圆磨削减薄工艺的磨削力预测模型。为了得到磨削力模型,分析了磨削减薄过程中的硅晶圆材料去除机理,将磨削力分为摩擦力和切屑力,考虑了磨粒运动轨迹,分别计算了单颗磨粒在法向和切向上的摩擦力和切屑力,最后基于有效磨粒总数建立了总磨削力模型。模型综合考虑了磨削参数、砂轮和硅晶圆的几何参数和材料性质对磨削力的影响。讨论了砂轮进给速度、晶圆转速和砂轮转速三个主要磨削参数对磨削力的影响,讨论了硅晶圆上晶向对磨削力的影响,给出了磨削力在硅晶圆面上沿径向的分布情况。     

风冷冰箱排水系统降噪技术研究

冰箱间室关门后,由于冰箱开门导致热空气的流入和室内温度的降低,间室内会形成负压,排水口作为平衡箱内压力的核心部件,通过排水管吸入空气进行箱内外气压的平衡,如蒸发皿中有水就会产生吸水噪声.通过研究间室内压力和温度的变化,分析吸水噪声的影响因素,提出一种可以平衡间室内负压的排水结构,消除吸水噪声,同时减少湿热空气从排水管中进入间室,提升耗电及储温性能.     

冰箱夜间静音模式及控制技术研究

风冷冰箱蒸发器化霜通常是通过加热丝加热,使蒸发器上的冰融化为水排出至蒸发皿进行蒸发,化霜后为了使冰箱间室快速回温,压缩机、风机通常以最高转速运行,压缩机、风机高转速运行声音相比正常运行时的声音大很多,这种声音在用户休息的晚上,很容易被用户感知,直接影响用户睡眠.因此,需要调整压缩机、风机高转速出现的时间,避开用户休息时间段.首先智能识别用户休息时间段,然后进入静音模式,通过主控板的控制逻辑,调整压缩机、风机的转速以及高频运转出现的时间,最终达成冰箱夜间静音的目的.     

“制药设备与车间设计”课程教学改革

制药设备与车间设计是制药工程专业一门重要的专业核心课程。针对制药设备与车间设计课程传统教学方法和考核方式难以促进学生毕业能力的达成，按照工程教育专业认证的成果导向教学理念，根据制药工程专业学生的学情和制药设备与车间设计课程内容特点，因地适宜地设计并组织实施了3333、1681教学模式和1234多元考核评价体系。以湖北医药学院制药工程专业“制药设备与车间设计”课程教学改革为例，通过对该教学模式以及考核方式的精心组织与实施，取得了良好的实践效果。