用AZ4620制作微电镀模的工艺研究(英文)

介绍了利用AZ4620光刻胶制作截面为5μm×5μm微电镀模的工艺流程,详细说明了工艺流程中影响实验结果的实验参数以及实验参数的优化方法,并用实验结果说明了应该避免的实验误区。最后根据优化后的参数制作出满足课题需要的实验结果。     

燃煤烟气中形态汞的取样测量方法

为配合我国燃煤电站汞排放特性研究工作的开展,文中对各种燃煤烟气测汞法进行了归纳总结。针对现有测量方法的不足,自行设计并建立了一套FMSS取样测量系统,初步的测试结果说明该系统可用于实际燃煤电站的形态汞浓度测量。最后对FMSS取样测量系统的进一步完善进行了讨论。     

静电除尘器和湿法烟气脱硫装置对烟气汞形态的影响与控制

利用安大略标准方法和在线汞监测技术对6套典型燃煤电站锅炉静电除尘器(ESP)和湿法烟气脱硫(WFGD)装置前后烟气汞的浓度及形态进行了测试,并研究了2种装置对烟气汞形态转化的影响及其汞控制能力.结果表明:ESP对飞灰的捕获直接降低了烟气中颗粒汞的比例,从已测试的典型燃煤锅炉来看,ESP前的燃煤烟气中颗粒汞的平均比例在30%左右,经ESP后颗粒汞所占比例降至5%左右;经WFGD装置洗涤后,烟气中汞的形态发生了较大的改变,二价汞基本被捕获,进入WFGD装置的烟气中二价汞的比例越高,WFGD装置对烟气汞的脱除效率也越高.配置有选择性催化还原(SCR)脱硝装置+ESP+WFGD尾部烟气处理装置的燃煤电厂,能够很好地控制燃煤烟气汞的排放.     

微机电系统(MEMS)的研究进展

一、MEMS的发展概况 1. 微机电系统的定义 美国:MicroEletroMechanical Systems (MEMS), are integrated micro-devices or systems combining electrical and mechanical components, fabricated using integrated circuit (IC) compatible batch-processing techniques, and varying in size from micrometers to millimeters. These systems merge computation with sensing and actuation to change the way we perceive and control the physical world. 日本:Micromachines are composed of functional elements only a few …     

燃煤烟气净化设施对汞排放特性的影响

为研究燃煤锅炉烟气净化设施对汞排放特性的影响,采用Ontario-Hydro方法,对设有催化脱硝、静电除尘、海水脱硫的300 MW燃煤锅炉排放烟气中汞的含量与形态进行分析,同时测定锅炉的煤、底渣、飞灰等固体样品以及脱硫塔前后、曝气之后海水样品中的汞含量。实验结果为：烟气中的气态汞占总汞的79.1%以上,脱硝催化剂对汞的价态具有强烈的转化作用,烟气中83.4%的气态Hg0被氧化成气态Hg2+;静电除尘对颗粒态汞的去除率几乎达到100%;在脱硫塔中,海水对烟气中汞的洗脱率高达73.6%,曝气后排放前的海水中含汞量是新鲜海水的5.5倍。研究表明锅炉烟气净化设施对汞的排放特性有着重要的影响。     

300 MW机组锅炉汞排放及控制研究

为了解燃煤电厂汞的排放规律以及常规污染物控制装置对汞排放控制的影响,采用Ontario-Hydro方法(OH法)和在线连续测汞仪(CEM)对某台300 MW机组锅炉进行汞排放及控制试验研究.结果表明,汞主要以烟气形式排放,底渣中的汞非常少.静电除尘器(ESP)对汞的排放有一定控制作用,经过ESP后烟气中总汞比例有所降低,49.2%的颗粒汞被除尘器除去.对比CEM和OH法的测试结果,发现两种方法对气态总汞的测试准确性较好,对单质汞和氧化态汞的测量偏差不大.     

基于固体吸附剂的燃煤烟气形态汞测试装置

针对现有燃煤电站形态汞测试方法的不足,设计和建立了一套基于固体吸附剂的燃煤烟气形态汞测试装置(FMSS),并同OH法、CEM一起用于三个实际燃煤电站的对比测试,结果表明:所建立的FMSS测试装置可用于实际燃煤电站的形态汞浓度测试,测试准确性好,结果可靠;KCl/SiO2吸附剂具有良好的选择吸附特性,且当采样点处SO2,浓度高达1248 ppm时,未发现气态零价汞被KCl/SiO2吸附剂氧化吸收的现象.     

氯和灰分对大型燃煤锅炉烟气中汞形态的影响

采用安大略标准燃煤烟气汞采样分析方法,对大型燃煤锅炉出口烟气中汞形态的形成及分布机理进行了研究.分析了煤中Cl、灰分及采样位置对锅炉出口烟气中汞形态分布的影响.结果表明:烟气中的飞灰能够直接影响颗粒汞与气态汞之间的平衡比例;煤中灰分含量越多,锅炉出口烟气中颗粒汞所占比例越大;煤中Cl对气态汞中Hg0向Hg2 形态转变有促进作用;较高的烟气温度和较短的停留时间会严重阻碍飞灰对汞的吸附,影响颗粒汞的形成,同时也会阻碍Cl元素对Hg0的氧化作用.     

微尖的两种制作工艺

描述各向异性腐蚀结合键合和各向异性腐蚀结合电镀来制作微尖的方法,利用这两种方法制作出了针尖直径小于25nm的金字塔形微尖,通过实验证明:这是两种有良好可控性和工艺要求不高的制作方法。微尖的成功制作为传感器微型化提供了一种很有潜力的新型检测方式,解决了检测的灵敏度问题。     

燃煤电厂汞排放对周边环境的影响

结合当地气象条件,采集了某燃煤电厂周边地区的土壤和大气样品,采用美国EPA认可的热分解方法,经双光束冷原子吸收法测定其汞含量,应用地统计学方法分析了电厂周边表层土壤汞含量的空间分布特性。结果表明,该燃煤电厂周边地表空气中汞的浓度范围为4.3～12.4 ng·m^-3,平均值7.0 ng·m^-3,表层土壤中汞的含量范围为0.045～0.529 mg·kg^-1,平均值0.180 mg·kg^-1,虽均未超过国家允许的标准,但与当地背景值相比,周边地区的大气汞浓度和土壤汞含量都有一定程度的增加。电厂是该地区主要的汞污染源,除距烟囱1～3km的环形区域受影响较大外,污染程度随着与电厂距离的增大而递减。