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随着对微波单片集成电路(MMIC)愈发严苛的尺寸限制和集成度要求,越来越多的MMIC芯片如限幅器、射频开关等同时具有平衡和非平衡的不同测试焊盘结构,需采用平衡-非平衡混合射频探针进行在片测试,而基于单一平衡或非平衡结构的直通在片校准件无法同时满足混合射频探针的阻抗匹配要求,导致校准精度大幅下降,无法用于MMIC在片测试.为此,本文对采用传统SOLR校准方式的平衡-非平衡混合射频探针测试的校准误差进行了评估计算,并结合带误差修正的OSL二阶去嵌技术和级联矩阵变换技术,提出一种基于平衡-非平衡混合射频探针的MMIC在片测试方法,同时搭建了以矢量网络分析仪、SG与GSG射频探针、微波探针台等组成的在片测试系统来验证方案可行性.通过矢量修正和级联矩阵去嵌,将校准参考平面精确平移至探针尖端面,有效地保证了测试精度,并且结合C#面向对象语言为该测试方案构建了自动测试系统,实现了仪器控制、数据采集、结果修正、数据分析等全自动操作,避免了人为干预的影响,解决了晶圆级测试面临的效率问题. 相似文献
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为了在极端环境下对芯片进行高效准确的可靠性试验,利用C#编程语言和相应的测试设备与环境设备搭建多功能芯片（MFC）可靠性测试系统.系统针对自主研发的T/R多功能芯片的测试需求设计,通过设计现场可编程门阵列（FPGA）开发板,配合自主研发的多功能控制芯片实现控制信号的串并转换,简单、准确地切换待测芯片工作状态.综合可视化编程技术、虚拟仪器软件结构（VISA）、MYSQL数据库、串口通信技术,实现仪器一键设置、芯片状态自动切换、参数自动测试、数据自动处理保存与结果分析报告的功能.结合测试系统中的辅助测温系统和环境设备,对多功能芯片进行三温试验.经检验,整个测试系统操作简单、测试速度快、结果精确,支持多功能芯片的大部分可靠性试验需求. 相似文献
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