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用激光化学气相沉积方法得到了无定形硅薄膜。用干涉仪测得薄膜厚度为微米量级,沉积速率为100(?)/min,用扫描电镜测出无定形硅颗粒平均线度为40~50(?),用激光拉曼光谱仪测出其拉曼频移为480cm~(-1)实验得到了沉积速率随气体峰值温度变化曲线,认为沉积速率受限步骤是硅烷的气相反应,求出反应活化能为192.6kJ/mol。  相似文献   
3.
简要叙述了激光增强电镀的机理并介绍了激光有极电镀铜的实验装置。实验中采用CuSO_4水溶液为电解液,使用预先镀有镍薄膜的玻璃基片作为阴极、铂片作为阳极。两电极间施加2V左右的直流电压。当功率为1W的氩离子激光束经光学系统会聚后穿过电解液聚焦在阴极上时,实验获得了直径约为几十微米、厚度为几微米的金属铜镀点。镀层沉积速率为0.1~1μm/s。测量表明由于激光引起的电镀增强率高达10~3以上。  相似文献   
4.
用激光化学气相沉积方法在微晶玻璃基片上沉积出了无定形硅薄膜。用乌氏干涉仪测得薄膜厚度为微米量级,沉积速率为100埃/分;用扫描电镜拍摄了膜层的形貌照片,测得其线度为40~50埃;用喇曼光谱仪测出其喇曼频移为480cm~(-1),与无定形硅的特征喇曼频移一致。  相似文献   
5.
分析了白城电厂新建工程湿法脱硫后烟气的特点以及烟气脱硫系统设置与不设置烟气加热系统(GGH)的优劣.讨论了烟气系统不设置GGH脱硫烟囱的结构选型,对比分析和讨论了烟囱内衬防腐材质选择及不同结构形式烟囱工程量技术经济性,推荐该工程采用玻璃砖内衬改进型防腐单筒式烟囱.  相似文献   
6.
对两平面反射光的干涉效应引起的测量误差进行了理论分析,并提出了消除该误差的方法。实验结果与理论分析相符合。  相似文献   
7.
本文概述了激光增强电镀的原理,介绍了用来研究电镀铜激光增强效应的实验装置和方法。电镀实验用CuSO_4水溶液为电解液,用镍薄膜作为阴极、铂片为阳极,极间施加直流电压。当用经过聚焦的氮离子激光束照射阴极时,观察到激光诱发的电镀增强效应。测量表明:激光增强的电镀电流要比无激光照射的背景电镀电流大10~3倍。用激光增强电镀方法成功地镀得了直径(或宽度)为几十微米的金属铜点(和线),镀层厚度为1-2微米,金属铜的沉积速率为1微米/秒,亦比背景沉积速率(10~(-3)微米/秒)大三个数量级。文中还给出当工作条件改变时电镀参数(电镀电流变化量、增强比和镀点直径)的变化规律。  相似文献   
8.
一种测量光偏振的实验装置   总被引:1,自引:0,他引:1  
设计并制造了一种测量反射、折射光的偏振光强及偏振方向变化的实验装置,实验结果较好地验证了菲涅耳反射、折射公式及由反射引起的偏振光方向变化的情况.  相似文献   
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