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泡生法生长蓝宝石单晶过程中,晶体常出现开裂、气泡等缺陷.本文通过Ansys有限元软件对热场结构和晶体生长过程进行数值模拟仿真,仿真分析结果表明热场隔热屏层数的多少直接影响热场温度梯度分布.为此,本文以仿真结果为基础,结合实际生产经验对单晶生长设备进行相应的热场改造,并进行单晶生长实验验证,验证结果显示改进设备生长蓝宝石单晶体位错密度均值减少76/cm2,掏棒长度均值增加118 mm. 相似文献
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