介绍几种微孔滤膜

电子工业、医药和精细化工使用的超纯水、光刻胶、化学试剂等对固体悬浮物及细菌都有严格的要求,因此,创造超净环境及采用微孔滤膜超净手段是非常必要的。微乳滤膜是由高分子聚合物组成,具有致密的均匀孔径,质地坚韧,不污染被过滤物质,并且能耐各种化学物质的腐蚀,能除尽小到微米级的固体颗粒和细菌。美国 Millipore 公司是生产微孔滤膜最著名的公     

单晶硅及其掺杂

不纯的硅体,是由石英砂在电弧炉中与焦炭反应还原而制得,铁是硅体中主要的杂质,如果去铁,则需把硅体与盐酸反应,生成三氯氢硅,然后将三氯氢硅经过精馏提纯,再将提纯过的三氯氢硅,在硅棒上于1000℃以上的高温下,用氢气还原;即可得出较纯的多晶硅;再将多品硅于石英坩埚内高温熔融,加入定向籽晶,在单晶炉上旋转而慢慢地向上拉晶,在此过程中,多晶硅固化成单晶.通常在拉单晶前,掺杂其他元素,会使单晶具有一定的导电性.下面以硅材料为例,说明其掺杂机理.     

半导体材料掺杂机理

半导体材料如硅和锗,通过掺杂Ⅲ,Ⅴ族的化学元素,如用砷、磷、硼的化合物可改变半导体材料的电学性能。这种被掺杂的元素,称掺杂源,有固体、液体和气体三类,根据半导体材料及器件制造的要求,可选择不同的掺杂源。这种掺杂过程在半导体工艺中称为扩散,是改造半导体材料的电学性能和半导体器件生产过程中的一项非常重要的工艺。