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本文研究Zr薄膜在等离子体作用下的氢化特性,测试表明,与分子氢相比,氢等离子体作用下氢化速率明显增高,在室温和≈2Pa氢压的DC放电条件下,氧化10min样品的氢化浓度可达饱和值,即66.67(原子分数,%),远大于该压强下的气体氢化浓度,在非超清洁系统中,等离子体氢化在样品表面产生大量的氧污染和少量的碳污染,少量的表面氧化物并不阻碍等离子体氢化,但随着污染的增加,氢化浓度却大大减少,Ni对样品表面氢分子解离吸附和氢原子再结合逸出有着不同程度的催化作用,在低的放电压强和放电电流下,表面镀Ni使Zr的稳态氢化浓度减小,而在高压强、低电流下,表面镀Ni可增加Zr的氢化效率。 相似文献
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<正> 近几年来,在绝缘体上进行外延硅层生长得到了很大的重视.其中以蓝宝石和尖晶石为基体的外延硅层研究得较多,因为这种外延层较薄(典型值~1μm),基体绝缘性好,耐辐照性能强;用这样的材料做MOS集成电路,具有高频性能好、耐辐照的优点,特别适用于宇航环境.但这种外延层(称异质外延)不容易做得好,这种外延层中往往存在着大量堆垛缺陷和孪晶薄层.在实践中,人们常需采用各种有效的实验手段来测试外延层的质量,以研究工艺过程中有关条件对质量的影响,从而选择最佳的工艺条件. 相似文献
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DEPTH PROFILING OF DEUTERIUM IN Al_2O_3¥TanXiaohua(谈效华);LuoSiwei(罗四维);SongZheming(宋哲明)(InstituteofAppliedElectronicsofCAEP,Che... 相似文献