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中温化学气相沉积(MT-CVD)工艺技术及超级涂层材料的研究 总被引:3,自引:1,他引:2
采用MT CVD工艺技术 ,用CH3 CN等含有C/N原子团的有机化合物 ,在 70 0~ 90 0℃沉积组织致密、层间结合强度好、柱状结晶的超级TiCN涂层。研究了沉积温度、压力、不同气体流量等工艺参数对TiCN涂层组织结构及性能的影响规律 ;分析了超级涂层材料设计机理和结构 ,给出了在经过改造的高温化学气相沉积 (HT CVD)设备上应用HT CVD和MT CVD相结合的新的沉积工艺技术生产超级涂层材料的工艺参数以及超级涂层硬质合金刀片性能测试分析结果 相似文献
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采用先进的中温化学气相沉积工艺技术 (MT CVD)和高温化学气相沉积工艺技术 (HT CVD)相结合 ,研究开发的TiN Ti(CN) Al2 O3 TiN超级涂层材料 ,是 2 0世纪 90年代末期才问世的新技术。与已往的涂层材料相比 ,这种超级涂层厚度可以达到 1 0~ 1 5 μm ,涂层组织致密并呈柱状结晶 ,具有更高的耐磨性能、抗热震性能和韧性 ,可以大幅度的提高切削工具的使用寿命 ,有效解决了难加工材料、高速、重型切削、干切削等领域中工具使用寿命低的问题。此种技术研究成功后 ,引起了广泛重视 ,并得到迅速推广应用。为了赶超世界先进水平 ,进一步提… 相似文献
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以通用的数控机床用涂层刀片CNMG120408为例,介绍了利用外观、X射线衍射、扫描电镜及金相分析等手段来表征数控刀具CVD涂层中涂层成分及结构的方法,并对各涂层成分的特点进行了分析。 相似文献
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