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微机械系统三维微结构的激光加工技术 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍了激光掩模投影直刻技术,聚焦激光束栅扫描技术及激光辅助化学气相沉积等在微机械加工技术中的应用。 相似文献
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