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一种新的膜厚测试技术 总被引:3,自引:0,他引:3
在“Y”型光纤一个端面上垂直放置涂有透明薄膜的基片 ,入射光在光纤—薄膜层—空气的界面处两次反射 ,由于两束反射光之间存在光程差 ,所以反射光发生干涉。不需要测量干涉条纹 ,仅通过对反射光谱的分析计算 ,可以测出薄膜的厚度以及折射率的数值。在单晶硅基片上做非晶的PSiO2 膜的甩膜实验中使用该方法测试PSiO2 膜的厚度 ,实验证明 ,该方法测量精度高、速度快 ,对薄膜无破坏作用。用卤素白光和红光的准单色光( 60 0nm~ 860nm)作为光源 ,膜厚范围为 0 5到几十微米 ,测量误差小于 4 0nm。进行了实验验证 ,给出了对噪声的处理方法 相似文献
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C-V模型和数学形态学的红外图像处理方法 总被引:1,自引:0,他引:1
为了从红外热图像中分割和识别出碳/碳构件的缺陷,提出了一种C-V模型分割和数学形态学处理相结合的红外图像处理新方法。该方法首先用小波阈值降噪法对采集的红外热图像进行去噪声处理,提高图像的信噪比。然后采用基于C-V模型分割法对红外图像进行分割,再用Canny算子提取出缺陷轮廓;最后运用数学形态学方法平滑缺陷轮廓,去除轮廓外的孤立像素点;最终求得缺陷的实际面积。实验结果表明,该方法能很好地分割出构件中的缺陷,计算误差在6%以内;能处理十分模糊的红外图像,缺陷轮廓的提取较为准确,定位精度高。 相似文献
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文中提出了一种白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的方法。无需测量干涉条纹,通过对透明薄膜的反射光谱进行分析,可以测出薄膜的厚度。测试膜片上不同点的厚度,可以得到物体表面微观状貌。该方法测量精度高、对薄膜无破坏作用。薄膜厚度测量范围为0.2-小于20μm,无横向测试范围的限制。在对SiO2薄膜的测试中,和椭圆偏振仪的测试结果相对照,纵向测量误差小于2nm。文中介绍的测试系统结构简单,测试精度高,测试结果可靠,具有较强的实用性。文章最后给出了对介质薄膜软酸铅(PbTiO3)表面的测试研究结果。 相似文献
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基于白光干涉的纳米级生物膜层厚度测试的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了利用光学干涉原理在光纤传感器端面上直接测量生物免疫反应的方法,能够测试到纳米级厚度生物膜层的亚纳米级厚度增加量。将生物膜(如抗原)固定在光纤探针端面上,入射光在光纤生物层、以及生物层一空气的界面处两次反射,由于两束反射光之间存在光程差,所以产生干涉现象,通过分析干涉谱线可以测量出抗原层的厚度。当抗原和抗体发生免疫反应后,生物膜层的厚度产生变化,干涉谱线产生移动,通过检测干涉谱线的移动来判断样本溶液中是否存在待测抗体。能够测试出亚纳米级生物膜厚度的增加量。给出了测试曲线。该方法测试精度高,结果可靠,测试系统简单,具有较强的实用性,并能够进行实时测量。 相似文献
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较为系统地介绍了光学免疫传感器技术及应用,给出了光学免疫传感器的传感器原理和分类方法,与传统的免疫传感器对照,介绍了光学免疫传感器的特点和优势所在。着重介绍了几种重要和常用的光学免疫传感器,夹层光纤传感器,位移光纤传感器,表面等离子体共振传感器、光栅生物传感器,法布里-波罗脱生物传感器,直接感应光纤生物传感器等,给出了它们的传感器结构和检测机理,以及它们在实际中的大量应用实例。最后介绍了光学免疫传感器的发展趋势。 相似文献
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