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CMP系统技术与市场 总被引:3,自引:1,他引:2
葛劢冲 《电子工业专用设备》2003,32(1):17-24
概述了CMP系统技术的发展历史、发展趋势以及在IC生产中的重要性,介绍了国外CMP设备主要制造厂家的设备型号和性能及CMP设备市场分布和需求,阐述了CMP系统技术的基础研究、关键技术和国内研究概况。 相似文献
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二维多孔数控钻床加工路径的生成及优化 总被引:7,自引:0,他引:7
印刷电路板 PCB的加工是二维多孔数控钻的典型。实践表明加工同一零件不同的走刀路径其长度相差极大。为提高生产率 ,应使刀具的走刀路径尽量短 ,这其实是大型的 TSP问题。本文提出了几种路径的生成方法 ,分析了各自的适用场合。并用实例验证所提出的路径生成方法可极大地提高实际钻孔的加工效率。 相似文献
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