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1.
为了提高微晶玻璃化学机械抛光(CMP)的材料去除速率(MRR),降低其表面粗糙度,利用自制的抛光液对微晶玻璃进行化学机械抛光,研究了4种含不同磨料(Si O2、Al2O3、Fe2O3、Ce O2)的抛光液对微晶玻璃化学机械抛光MRR和表面粗糙度的影响.利用纳米粒度仪检测抛光液中磨料的粒径分布和Zeta电位,利用原子力显微镜观察微晶玻璃抛光前后的表面形貌.实验结果表明,在相同条件下,采用Ce O2作为磨料进行化学机械抛光时可以获得最好的表面质量,抛光后材料的表面粗糙度Ra=0.4 nm,MRR=100.4 nm/min.进一步研究了抛光液中不同质量分数的Ce O2磨料对微晶玻璃化学机械抛光的影响,结果表明,当抛光液中Ce O2质量分数为7%时,最高MRR达到185 nm/min,表面粗糙度Ra=1.9 nm;而当抛光液中Ce O2质量分数为5%时,MRR=100.4 nm/min,表面粗糙度最低Ra=0.4 nm.Ce O2磨料抛光后的微晶玻璃能获得较低表面粗糙度和较高MRR.  相似文献   
2.
近年来,随着自动化技术的发展和应用,石油、化工以及国防工业的一些工艺流程,广泛采用各种自动连续的检测、调节和控制仪表设备。这些工艺流程中的大部分化工物料现场,是有爆炸危险的场所。这就要求设置在这类场所的电气设备必须是防爆电气设备。  相似文献   
3.
利用自制抛光液对微晶玻璃进行化学机械抛光,研究络合剂、氧化剂、润滑剂种类及添加量对微晶玻璃化学机械抛光材料去除速率和表面粗糙度的影响。结果表明:抛光液中加入质量分数0.2%的EDTA络合剂后,能大幅降低材料表面粗糙度;加入质量分数2%的过硫酸铵氧化剂后能得到较光滑的材料表面和较高的材料去除速率;加入质量分数为0.2%的丙三醇润滑剂后能降低材料表面粗糙度。将EDTA络合剂、过硫酸铵氧化剂丙、三醇润滑剂加入SiO_2抛光液中对微晶玻璃进行化学机械抛光,利用原子力显微镜观察抛光微晶玻璃抛光前后的表面形貌。结果表明,抛光后微晶玻璃表面极为平整,达到了0.12 nm的纳米级光滑表面,且材料去除速率达到72.8 nm/min。  相似文献   
4.
王金普 《建筑》2013,(24):39-40
谈及执行力,首先会想到“令行禁止”一词,该词本质上强调的就是执行力。执行力的灵魂是企业文化,提升执行力需要良好的企业文化环境作为基础,而企业文化又是提升执行力的隐形推手和无形准则。良好的企业文化能够促进执行力的提升,强劲的执行力又能不断巩固企业文化,二者相辅相成。  相似文献   
5.
以精萘与丙烯为原料,在固体酸催化剂的作用下合成二异丙基萘,对其合成工艺进行了研究,旨在优化工艺条件,提高原料综合利用率,降低生产成本。实验结果显示,选择硅铝酸作为催化剂,当催化剂用量为5%,反应温度为180℃时,二异丙基萘的收率最高可达到40%。以氯化铝(AlCl_3)为催化剂,对副产物三、四异丙基萘进行转位反应获得二异丙基萘,当催化剂用量为4%,反应温度为80℃,反应时间30min,副产物中三、四异丙基萘含量均降至5%以下。  相似文献   
6.
以纳米氧化铝为磨料对A向蓝宝石进行化学机械抛光,实验中考察了磨料浓度、磨料粒径、抛光时间、抛光压力以及NH4F浓度等因素对A向蓝宝石的材料去除速率和表面粗糙度的影响。利用原子力显微镜(AFM)检测抛光后A向蓝宝石的表面粗糙度,系统分析抛光过程中各影响因素,优化实验条件,结果表明:当抛光液中磨料质量分数为1%、磨料粒度尺寸为50nm、抛光时间为40 min、抛光压力为16.39 kPa、NH4F质量分数为0.6%、pH=4.0时,抛光后材料去除速率(MRR)为18.2 nm/min,表面粗糙度值Ra 22.3 nm,抛光效果最好。   相似文献   
7.
以纳米CeO2为磨料自制抛光液,研究磨料质量分数、pH值、抛光液流量、抛光盘转速、表面活性剂种类和氟化铵质量分数等因素对微晶玻璃化学机械抛光的影响,分析总结CeO2在微晶玻璃化学机械抛光中的作用机理,利用原子力显微镜(AFM)检测微晶玻璃抛光后的表面粗糙度。结果表明:当CeO2质量分数为3%、抛光液流量为25mL/min、抛光盘转速为100r/min、pH=8.0、十二烷基硫酸钠质量分数为0.01%,氟化铵质量分数为0.7%时,抛光后微晶玻璃表面粗糙度(Ra)最低为0.72nm,材料去除速率达到180.91nm/min。   相似文献   
8.
本文通过选用成型炸药进行地震激发试验,从定性和定量的角度对目前常用的炸药震源的子波信号进行分析,从中得到了一些启发。  相似文献   
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