纳米尺度金属薄膜在拉伸状态下的稳定性

将薄膜和基底作为一个基本结构来研究薄膜的变形和损坏可预测纳米薄膜器件的使用寿命.本文讨论和研究了薄膜基底结构在拉伸载荷下薄膜出现的分叉和断裂的过程.用在相同厚度的PET基底上沉积不同厚度铝膜的薄膜基底结构作为试件,分别对薄膜厚度为100,150和200 nm的3种不同试件进行了拉伸加载实验,并在OLYMPUS显微镜下观...     

纳米硬度实验有限元数值模拟

使用FEPG（Finite Element Program Generator）软件编程，对维氏压头的微硬度实验进行模拟，建立了一种针对膜基体系有限元计算的新模型，该模型考虑了边界摩擦和实时跟踪接触因素，在对Si片和TiN单层膜压痕的模拟分析后。得出“载荷-压痕对角线关系曲线”，与其它文献中的实验结果相吻合。说明模型是合理的，结果是可靠的，对实际应用具有指导意义，并为理论分析提供了研究方法。     

多层膜体系微硬度实验的有限元数值模拟

使用FEPG软件编程,对维氏压头的微硬度实验进行模拟,建立了一种针对膜基体系有限元计算的新模型,该模型考虑了边界摩擦和实时跟踪接触因素,在对TiN单层膜和TiN／Ti／TiN／Ti／TiN／Ti6层膜压痕的模拟分析后,得出“载荷-压痕对角线长度关系曲线”和“硬度-载荷关系曲线”以及塑性区分布图,并对微硬度实验中的压头的压入深度相对于单层膜膜层厚度和多层膜中组分膜膜层厚度的取值进行了讨论,与其他文献中的实验比较,结果吻合。说明模型是合理的,结果是可靠的,对实际应用具有指导意义,并为理论分析提供了研究方法。