802D数控系统的MasterCAM后置处理程序开发研究

对MasterCAM后置处理程序格式进行了研究。开发了适合SIEMENS 802D数控系统的专用后置处理程序。解决了SIEMENS 802D数控系统数控程序的生成问题。     

802D数控系统的MasterCAM后置处理程序开发研究

对MasterCAM后置处理程序格式进行了研究,开发出了适合SIEMENS 802D数控系统的专用后置处理程序,解决了由MasterCAM生成的数控程序不能在SIEMENS 802D数控铣床上直接加工的问题,扩大了软件的功能.     

多层等离子体蚀刻技术的研究

干法刻蚀现已成为微小高深宽比结构加工与微细图形制作的重要手段.提出了一种新的干法刻蚀技术一多层等离子体蚀刻,充分利用腔体的空间布局,布置多层电极,并采用分层送气装置输送放电气体,实现多层同时进行刻蚀,可成倍提高产能.采用该技术刻蚀光阻为例,从空间与时间两个角度分析了工艺参数对刻蚀速率与均匀性的影响规律与作用机理.实验结果表明,极板间距为50/55/60mm(由下向上),工作压力为40Pa,R[O2:Ar]为1/2,RF功率为600W时,整炉次刻蚀速率均值为14.395nm/min,均匀性为9.8％,此时工艺最为合理.     

轧辊孔型强力切削抑制颤振的最佳走刀路线

阐述了数控强力切削轧辊孔型时发生颤振的问题,推导出切削深度与颤振的关系,并比较了几种走刀路线,提出了避免颤振的最佳走刀路线。     

数控强力切削中机械谐振的影响及补偿方法

在数控强力切削进给伺服系统中,机械传动系统对电气调速系统具有扭矩反馈作用,容易形成机械谐振。机械谐振现象使得机械传动部件的特性参数影响电气调速系统动态特性。文中研究了机械传动系统的阻尼比!mech和惯量匹配系数q对机械谐振的影响,并提出了减小机械谐振影响的补偿方法。