陕西南台钼矿地质特征及成矿预测

陕西省商洛市商州区南台钼矿床赋存于秦岭纬向构造带北部汤峪—板桥构造带东段南缘。矿体产于元古宇长城系宽坪群广东坪组一套中深变质的绿片岩类岩石与大理岩类岩石组成的碳酸盐岩夕卡岩带和沿F₄₂断裂分布的霏细(石英)斑岩中。区内的岩浆活动、矿体的产出形态及矿化富集规律等均与该区的主要断裂构造F₄₂有着密切的关系。通过对该矿床的成矿地质特征、矿化富集规律等的总结,初步探讨了该矿床的成因及控矿因素,分析认为矿床深部具有很大的找矿潜力,具有寻找斑岩型钼、钨矿床的有利条件。     

采用CHF_3和O_2等离子体刻蚀PI的各向异性研究

研究了一种有效刻蚀聚酰亚胺(PI)的干法刻蚀方法,以金属铬为掩膜,刻蚀经涂胶并亚胺化而得到具有一定厚度的PI薄膜。利用反应离子刻蚀设备(RIE)将O2和CHF3按一定比例混合,适当调节刻蚀压力、气体比例、功率、时间等因素,可以得到侧壁和底面光洁、具有不同表面形貌的刻蚀结构。借助台阶仪和显微测量工具测定刻蚀样片,进一步得到不同工艺参数下刻蚀深宽比,并通过分析得出其他因素对PI刻蚀深宽比的影响趋势。该项研究避免了"微掩膜"效应所产生的表面粗糙问题,同时优化了刻蚀工艺,得到各向异性刻蚀的具体工艺参数,为PI不同应用目的选择刻蚀工艺提供了理论依据。