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何青峰韩嘉俊阿布来提·阿布力孜 《真空科学与技术学报》2023,(12):1056-1063
采用射频磁控溅射法,在室温下Si/SiO_(2)衬底上制备InZnO薄膜晶体管,并研究不同溅射功率(25,50,75和100 W)对InZnO薄膜晶体管电学性能的影响。XRD表征结果表明,不同溅射功率制备的InZnO薄膜均出现晶面为(002)面的多晶态结构。通过电学特性研究发现,当溅射功率为50 W时,电流的开关比为3×10^(7),场效应迁移率为14.8 cm^(2)V^(-1)s^(-1),阈值电压为0.82 V,亚阈值摆幅为0.38 V decade^(-1),界面缺陷态密度为1.1×10^(12)cm^(-2)eV^(-1)等获得最佳器件参数。这是因为功率50 W时用原子力显微镜测得InZnO薄膜表面粗糙度为0.86 nm,说明薄膜的表面比较平滑,表面缺陷密度较少,使InZnO薄膜沟道层和源漏电极形成了良好的接触。此外,XPS结果表明,当溅射功率为50 W时,能够有效控制氧空位缺陷,最终有效改善和提高InZnO薄膜晶体管的电学性能。 相似文献
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对传统的CSMR分级方法中裂面特征和裂面间隙取值进行了改进,更好地体现了边坡岩体的岩性对边
坡稳定性的影响,用该方法对312国道商—丹段K132+700~K132+850段岩质工程高边坡进行了定性评价。
结果表明,该岩质工程高边坡不稳定,提出了以锚喷支护为主的主动支护方案。工程实例证实,定性评价结果可
靠。 相似文献
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采用水泥基本性能标准检测方法研究了经化学-煅烧法除氯处理的聚氯化铝废渣(简称复合除氯PAC废渣)的细度和掺量对标准稠度需水量、凝结时间、强度等水泥性能的影响。研究结果表明:随着复合除氯PAC废渣的细度越来越细,水泥的标准稠度需水量越来越大,水泥的凝结时间也逐渐缩短,对水泥的强度增强效果越来越弱。复合除氯PAC废渣的实用细度为粒径大于80 μm的粒子质量分数为1.5%~2.5%;随着实用细度的加湿复合除氯PAC废渣掺量的逐渐增加,水泥28 d抗压强度出现先增强后降低现象,在掺量为17%时,水泥28 d抗压强度的增长率出现临界值。 相似文献
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框支梁是框支结构高层建筑重要的竖向荷载转换结构构件,本文介绍了某框支短肢剪力墙框支梁的分析与设计,着重叙述了该梁的计算分析及相应抗震构造措施等,通过有限元软件对该框支梁的受力特点进行了讨论,可为类似工程提供参考资料。 相似文献
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坡面侵蚀破坏对黄土边坡稳定性影响分析 总被引:1,自引:0,他引:1
分析了斜坡坡面遭受天然降水与人类活动的侵蚀破坏对坡体稳定性的影响,认为坡面裸露的黄土边坡在长期的雨水冲刷与入渗情况下,坡面侵蚀破坏成为滑动面位于土层中的黄土边坡渐进破坏的诱发与促进因素。并对其失稳机理进行了探讨。 相似文献
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介绍一种由氢氧化铝代替铝土矿生产食品添加剂明矾(十二水合硫酸铝钾)的新工艺。使用氢氧化铝与硫酸、硫酸钾在搪瓷反应釜内一步反应,再通过结晶、破碎、包装等工序,得到优质的明矾产品。解决了用铝土矿为原料生产明矾产品带来的重金属超标问题,并且大大缩短了工艺流程,减少了能源消耗同时杜绝了矿渣的产生。以氢氧化铝为原料生产食品添加剂明矾具有工艺流程短、环保、安全、产品质量好等特点。 相似文献