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介绍了Nikon光刻机最常用的对准方式,即激光步进对准(LSA)。从基本的光学系统出发,介绍了LSA在Nikon光刻机中的作用,搜索和增强型全局对准(EGA),详细阐述了LSA的工作原理及其对工艺的影响,最后介绍了LSA对准系统的技术指标和作用。 相似文献
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迄今为止,在中国的城镇化进程中,乡土景观资源的保护与利用仍然是个未受到足够重视的薄弱环节。在社会格局剧变和文化高度融合的大背景下,隔离区域生态与文化特征的规划管理模式已无法适应人民对生活质量及其可持续性的更高追求。实现生态与文化视角的融合既是社会实践的要求也是学科发展的趋势。以福建北部地区为研究对象,在实施研究区生态与文化区划的基础上,以空间统计与地理信息技术为手段,验证了研究区生态与文化类型区的空间关联性,并据此构建了乡土景观分类及区划方法体系。对乡土景观区划成果在区域风景道规划及旅游资源空间管制等领域的应用途径做了初步探讨。本研究可视为是区域可持续发展战略中的有关乡土景观资源整合保护的一次有价值的实践探索。 相似文献
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在工程建设中,砌体材料广泛使用,而相关规范中规定常用砌体材料均需要提前进行浇水湿润。长期以来,国内建筑工地对砌体的浇水工作绝大多数的使用方法是:作业人员使用胶皮管接水龙头直接浇砖,水管每挪动一次仅能浇到水管口左右的4-6摞砖,且对浇砖用水量无法控制,这样占用了大量的人力资源及对水资源浪费严重。不符合绿色施工节水的要求。由于是人工操作,工人的素质对洇砖的影响很大,无法保证洇砖的质量。为了解决这种难题,推行国家绿色施工的指导思想,本公司专门研发出一种浇砖机器人,来替代人工洇砖,以达到节省洇砖人工投入,提高洇砖质量的效果。 相似文献
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