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玻璃湿法深刻蚀掩模常采用低压化学气相沉积(LPCVD)多晶硅、Cr/Au金属层+光刻胶等,但往往会在玻璃中引入应力,影响后期应用(如阳极键合),而且Cr/Au金属层价格昂贵。为避免以上缺点,引入了SX AR—PC 5000/40保护胶+WBR2075干膜作为玻璃的刻蚀掩模,在HF︰NH4F,HF︰HCl,HF︰HCl︰NH4F刻蚀溶液中进行了大量实验。实验结果表明:SX AR—PC 5000/40抗腐蚀能力强,且成功实现了对Pyrex 7740玻璃131μm的深刻蚀。整个工艺过程与IC工艺兼容,可以进行圆片级批量加工。实验结果对圆片级封装和其他MEMS器件的制作有一定参考作用。 相似文献
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本设计采用了STC增强型51单片机作为核心控制器,采用了DHT11数字式温湿度传感器作为数据采用传感器,选择了2.4GHz的nRF24L01无线电通信模块作为数据传输模块,遥控器端的温湿度传感器将采集到的数据与用户设定的数值范围作比对,再根据比对结果决定给插座的通电或断电,从而达到将用户所处环境温湿度控制在理想范围内的目的。实验结果表明,本设计功能新颖,实用价值高,使用便捷,具有广阔的市场前景。 相似文献
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目前灵活接地系统大多采用定时限零序过电流保护,高阻接地故障时保护存在易拒动的问题.为解决此问题,提出了基于零序电流与电压相位差变化的选线方法.基于灵活接地系统单相接地故障的零序等效电路,分析了并联小电阻投入前后的电气量变化特征,即非故障线路始端零序电流与母线零序电压相位差不变,而对于故障线路此相位差发生变化,同时分析了过渡电阻对电气量变化特征的影响,发现过渡电阻只影响母线零序电压相位变化量,而对各线路始端零序电流与母线零序电压相位差的变化量无影响,据此提出该选线方法.该方法利用了并联小电阻投入前后电气量的变化特征,无需其他馈线的电气量即可判定故障线路.仿真实验表明该方法在高阻接地故障时仍能准确选线. 相似文献
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王伟康玉凡陈亚云刘红开刘红胡婷婷 《中国食物与营养》2016,(1):26-30
选择3个蚕豆品种,采用育苗盘技术进行蚕豆苗培育,观测分析不同品种蚕豆苗的生物产出量、营养及功效成分。结果表明:丰镇白蚕豆B3的产量性状、总酚和黄豆苷含量显著高于其他品种(P<0.05);3个品种的蚕豆苗基本营养成分无显著性差异,青海白蚕豆B1苗菜中NDF和染料木苷含量显著高于其他2个品种;收获后残留的蚕豆种子中还含有大量的营养物质,具备再次发芽生长的能力,可以多茬次生长。 相似文献
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<正>5月18日~21日,第八届中国(深圳)国际文化产业博览会在深圳召开。上海印刷(集团)、北京北人富士、美国杜邦三家联手搭建平台参加此次会展。展会上,上海印刷(集团)展出了由上海新华印刷使用柔性版水墨印制生 相似文献
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结合一起单电源多级串供型输电线路距离保护误动的事例,详细探讨了保护误动的原因,分析指出:输电线路在保护安装处近区发生区外单相接地故障时,由于分布电容的影响,判断故障方向的负序方向元件将落入正向区内,引起保护误动.为解决上述问题,在传统负序方向元件判据的基础上提出了一种基于正序电流和负序电流之间相位关系的故障方向判据,并给出了正方向的动作区间.经PSCAD/EMTDC仿真,验证了该方向判据不受过渡电阻的影响,解决了保护安装处近区发生区外故障时距离保护误动的问题. 相似文献
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在中文文本特别是在社交媒体及问答领域文本中,存在非常多的标点符号错误或缺失的情况,这严重影响对文本进行语义分析及机器翻译等各项自然语言处理的效果。当前对标点符号进行预测的相关研究多集中于英文对话的语音转写文本,缺少对社交媒体及问答领域文本进行标点符号预测的相关研究,也没有这些领域公开的数据集。该文首次提出跨领域中文标点符号预测任务,该任务首先利用标点符号基本规范正确的大规模新闻领域文本,建立标点符号预测模型;然后在标点符号标注不规范的社交媒体及问答领域,进行跨领域标点符号预测。随后,构建了新闻、社交媒体及问答三个领域的相应数据集。最后还实现了一个基于BERT的标点符号预测基线模型并在该数据集上进行了实验与分析。实验结果表明,直接利用新闻领域训练的模型,在社交媒体及问答领域进行标点符号预测的性能均有所下降,在问答领域下降较小,在微博领域下降较大,超过20%,说明跨领域标点符号预测任务具有一定的挑战性。 相似文献