InSb焦平面探测器背面钝化的研究

对N型（111）面的InSb衬底采用两种方法进行钝化处理;一种是直接溅射ZnS,另一种是先用（NH4）2S化学硫化,然后溅射ZnS。C-V测试和器件性能测试表明,在（NH4）2S溶液中进行化学硫化的方法能有效改善ZnS/InSb的界面,这种方法能满足InSb焦平面器件的使用性能。本文还对不同的硫化方法及实验条件进行了对比实验。