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本文提出了一种用于压阻压力传感器中的微机械梁膜结构.这种结构除有灵敏度高、线性好等优点外,还有其他优良性能,而工艺要求又较已有的各种结构为低.有限元素法的应力分析和实验结果证明了这种结构的优良性能. 相似文献
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本文对方膜的硅压力传感器结构进行了应力非线性的计算分析,得出了应力-压力关系非线性与压力量程、膜的几何参数以及器件位置的关系,并给出了实现线性最佳化设计的结果.实验与理论结果的比较表明:(1)压阻效应非线性很小,压力传感器的非线性主要决定于应力非线性;(2)方膜边缘的四端力敏电阻设计不仅灵敏度高,而且有较好的线性;(3)进一步改进压力传感器精度的方法是选用应力线性优良的结构. 相似文献
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通过对南堡油田南堡1、2号构造取心井馆陶组(Ng)岩心观察及铸体薄片鉴定,明确了研究区馆陶组储层岩石学特征,玄武质泥岩实际上是风化程度高、砾间界线不清楚的玄武质火山角砾岩,并提出新的储层类型——玄武质火山角砾岩储层。研究区储层物性总体较好,高孔、高渗储层发育;孔隙类型以粒间孔为主,粒间溶孔、粒内溶孔和铸模孔、杂基内微孔发育,孔隙组合类型以粒间孔+粒间溶孔+粒内溶孔为主。根据储层成因和展布特征可将其分为3类:河流-三角洲相成因的条带状储层、以火山碎屑为物源的火山裙扇储层及火山前缘的自碎角砾状熔岩环形储层,见丰富的荧光级油气显示,具有有利的成藏条件。 相似文献
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一、松辽盆地南部姚家组一段地层岩相组合特征
姚家组一段地层在整个盆地南部大部分地区均有分布,仅在东南隆起区和西部斜坡区一带被完全剥蚀或没有沉积,地层厚度一般为20m-65m,与下伏青山口组呈整合一假整合接触。岩性以紫红色、棕红色、灰绿色泥岩,夹灰绿色泥质粉砂岩、灰白色砂岩为主,油层发育在粉砂岩、砂岩当中。地层普遍含钙,常见钙质结核和铁质结核, 相似文献
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设计了一种新型的可用于地震检波器的三明治结构MEMS电容式加速度传感器,采用四层硅-硅键合技术获得双面梁-质量块结构与圆片级真空封装,其具有大电容、高分辨率的特点。传感器采用悬臂梁结构减少高温键合过程中热蠕变带来性能影响,并具有良好的抗冲击性。传感器芯片体积为6.3 mm×5.6 mm×2.2 mm,其中敏感质量块尺寸为3.3 mm×3.3 mm×1.0 mm。对封装后的传感器性能进行了初步测试,结果表明,制作的传感器灵敏度达24.4 pF/g,谐振频率为808 Hz,Q值为22,在2 000 g,0.5 ms加速度冲击后仍能正常工作。接入闭环电路进行重力场静态翻滚实验标定,传感器二阶非线性小于0.2%,交叉轴敏感度小于0.07%。 相似文献
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松辽盆地榆树水系泉头组—嫩江组沉积相特征及勘探潜力 总被引:2,自引:0,他引:2
前人认为,松辽盆地白垩系发育6大物源及11条主要水系,但在东南隆起带又发现了一条来自榆树方向的水系并命名为榆树水系,该水系母岩为张广才岭加里东运动及印支运动期花岗岩。榆树水系从泉头组到嫩江组一直继承性发育,主要以河流和三角洲沉积为主。地质综合研究表明,榆树水系具有较大的勘探潜力,油源主要为青一段、营城组及沙河子组暗色泥岩,扶杨油层是榆树水系中、浅层勘探的主要目的层。目前该水系已经成为吉林油田增储上产的重要领域。 相似文献
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