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1.
用共振喇曼散射研究了CdTe/ZnTe应变层超晶格的多声子谱.实验结果表明,我们首次观察到了多达10级的ZnTeLO的多声子喇曼散射,和反映超晶格结构的子带跃迁介入多声子共振喇曼散射过程的实验现象.  相似文献   
2.
本文用喇曼散射方法研究了在GaAs衬底上用S-枪磁控反应溅射的AlN和PECVD淀积的SiOxNy薄膜的界面应力,并研究了这两种薄膜在N2和Ar气氛下的高温热处理对界面应力的影响.结果表明,与SiOxNy薄膜不同,在GaAs衬底上制备的AlN薄膜,其界面应力很小,而且经N2和Ar气氛下的高温快速热退火,仍具有较好的稳定性,从而表明AlN是GaAs集成电路技术中一种较好的绝缘介质、钝化层和保护材料.  相似文献   
3.
AIN和SiOxNy薄膜与其GaAs衬底间界面应力的喇曼光谱研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
侯永田  高玉芝 《半导体学报》1994,15(12):809-813
本文用喇曼放射方法研究了在GaAs衬底上用S-枪磁控反应溅射的AIN和PECVD淀积的SiOxNy薄膜界面应力,并研究了这两种薄膜在N2和Ar气氛下的高温热处理对界面应力的影响。结果表明,与SiOxNy薄膜不同,在GaAs衬底上制备的AIN薄膜,其界面应力很不,而且经N2和Ar气氛下的高温快速热退火,仍具有较好的稳定性,从而表明AIN是GaAs集成电路技术中一种较好的绝缘介质、钝化层和保护材料。  相似文献   
4.
深亚微米MOS器件中栅介质层的直接隧穿电流   总被引:5,自引:3,他引:2  
在WKB近似的理论框架下,提出了一个MOS器件中栅介质层直接隧穿电流的模型.在这个模型中,空穴量子化采用了一种改进的单带有效质量近似方法,这种方法考虑了价带的混合效应.通过与试验结果的对比,证明了这个模型可以适用于CMOS器件中电子和空穴的隧穿电流.还研究了介质层能隙中的色散对隧穿电流的影响.这个模型还可以进一步延伸到对未来高介电常数栅介质层中隧穿电流的研究.  相似文献   
5.
CdSe/ZnTe超晶格微观界面模的多声子喇曼光谱研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
在CdSe/ZnTe超晶格中观察到了超晶格的微观界面模的基础上,本文主要研究了这种微观界面模的多声子散射,结果表明我们首次观察到了达4级的微观界面模的多声子喇曼散射,它具有不同于光学类体模多声子谱的光谱特征及共振行为,通过分析,我们认为这种不同正是微观界面模具有强烈的局域特性的反映.  相似文献   
6.
用于砷化镓器件的氮化铝薄膜特性   总被引:3,自引:1,他引:2  
研究了S-枪磁控反应溅射制备的AlN薄膜的晶体结构、组分以及薄膜的电学特性。用Raman散射方法检测了AlN与GaAs。SiON与GaAs的界面应力,并用AES方法对比研究了AlN/GaAs,SiON/GaAs经800C快速热退火前后两种薄膜对GaAs的掩蔽作用。高温快速热退火后,SiON保护层对GaAs掩蔽失效、界画应力大;而AlN薄膜界面应力小,能有效地防止Ga,As的外扩散。表明AlN对GaAs集成电路技术是一种非常好的绝缘介质、钝化和保护材料。  相似文献   
7.
在WKB近似的理论框架下,提出了一个MOS器件中栅介质层直接隧穿电流的模型.在这个模型中,空穴量子化采用了一种改进的单带有效质量近似方法,这种方法考虑了价带的混合效应.通过与试验结果的对比,证明了这个模型可以适用于CMOS器件中电子和空穴的隧穿电流.还研究了介质层能隙中的色散对隧穿电流的影响.这个模型还可以进一步延伸到对未来高介电常数栅介质层中隧穿电流的研究.  相似文献   
8.
虽然常规抽油杆防护措施在防腐耐磨方面均发挥了一定作用,但很多防护措施都存在一定局限性,耐磨不防腐或防腐不耐磨,甚至带来一定的负面作用。而目前正在兴起的镀钨合金技术已经在抽油杆产品中开始应用,且镀层具有突出的耐磨性和耐蚀性。为此,介绍了镀钨合金原理、技术特点和抽油杆钨合金生产工艺,并对关键工艺进行了说明。现场应用情况表明,镀钨合金抽油杆使用时间达到1 a以上,没有发生过1起断杆事故,其寿命延长至6倍以上,极大地减少了停井作业次数。  相似文献   
9.
多孔硅光致发光峰值能量随HF浓度变化的台阶行为   总被引:2,自引:0,他引:2  
研究了在不同HF浓度下用电化学方法生成的非简并P型多孔硅的光致发光谱,发现多孔硅荧光谱的峰值能量随HF浓度的变化是“台阶”式的非连续跃变。我们用多孔硅量子线的限制效应并结合多孔硅的形成机制解释了这种“台阶”现象、分析表明,“台阶”现象反映了量子限制效应在多孔硅荧光和形成过程中必然存在的量子化行为。  相似文献   
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