使用超声搅拌实现精密KOH各向异性体硅腐蚀

对使用超声搅拌和不加搅拌时(100)单晶硅的腐蚀特性进行了研究和对比.使用超声搅拌,可以得到光滑的、无小丘的腐蚀表面,整个硅片腐蚀深度的误差不超过1μm.实验结果表明,该方法可以有效地实现精密KOH各向异性体硅腐蚀.     

PZT材料在射频滤波器中的应用

锆钛酸铅 (PZT)材料有着优良的压电性能 ,其薄膜具有高机电耦合系数、高品质因数的特点 ,适合于制作低插损、大带宽的射频 (RF)滤波器。文中介绍了 RF体声波滤波器的原理、结构和 PZT的材料特性 ,探讨了PZT薄膜的制备、退火、刻蚀工艺的选择与优化 ,并在此基础上设计了应用 PZT薄膜的体声波滤波器 ,模拟了该器件的性能     

基于硅表面加工工艺的射频体声波滤波器研究

计算并讨论了由电极－压电薄膜－电极的三明治结构组成的体声波谐振器在有衬底情况下的阻抗，特别说明了厚的支撑膜对滤波器性能的严重影响。同时比较了在制作体声波滤波器时硅的体加工工艺和表面加工工艺的优劣，给出了利用硅的表面加工工艺制作的射频体声波滤波器的设计。     

硅基PZT薄膜的制备与刻蚀工艺研究

采用溶胶－凝胶（Sol-Gel）法制备了PZT薄膜,在600℃的退火温度下即获得了晶化完善的钙然矿铁电相结构。采用典型的半导体光刻工艺,利用HCl/HF刻蚀溶液成功地获得刻蚀线条分辨率达微米量级的PZT薄膜微图形。较好的解决了有关PZT薄膜制备与加工中存在的关键问题,为硅基铁电薄膜器件的实现奠定了良好的工艺基础。     

小城镇建设的可持续发展之路

小城镇位于城市之郊,是联系城乡的纽带,人口密度小,环境质量好,相对于城市有一定的生态、资源优势。但自80年代以来,随着我国城市化进程加速发展,至1996年底,城市化水平已由1980年的19.4％迅速提高到29.4％。城市化的快速发展带来了巨大的社会效益和经济效益,但同时也造成了广泛的“城市病”,人口急剧增加,居住环境恶化,自然资源枯竭,历史文化丧失。而大量的小城镇由于缺乏规划。管理力度不够,随着城市化进程,规模不断扩张,其在建设上的盲目性,发展中的破坏性甚至比城市更为严重,对环境造成的危害也更大。因此,保护与发展成为了当今小城镇规划中必须面对的课题,而走可持续发展的道路成为了必然。     

软弱顶底板沿空掘巷围岩控制技术

在现场调查和理论分析的基础上,根据最小应力原理确定了东怀煤矿3I01工作面进风巷沿空掘巷小煤柱宽度.同时,针对软弱顶底板条件下沿空掘巷小煤柱护巷围岩变形特征和应力场分布特点,提出了以控制"大结构"稳定为核心的锚杆、金属网、H型钢带、锚索和桁架锚索的非对称联合支护技术.通过数值模拟和现场应用验证了小煤柱宽度的合理性以及提出的技术对软弱顶底板沿空掘巷巷道围岩稳定性控制的可靠性,对软弱顶底板条件下的沿空掘巷及其围岩控制技术具有一定的参考价值.     

α—萘乙酸的纯化

α-萘乙酸(α-naphthalene acetic acid)是植物生长调节剂。用于有机合成,在医药上用作鼻眼净和眼可明的原料。工业上采用精萘与氯乙酸缩合,再经中和,酸析,即得含量约为80%左右的萘乙酸。产品中含有未反应的萘、氯乙酸、少量β-位及1,4-位取代物等杂质,作为化学试剂需经纯化。通常采用水重结晶的方法,我们改用稀乙醇重结晶后再经甲苯处理获得满意结果。为除去杂质,拟定了以下精制方案;一、将粗品加热熔融,减压蒸出未反应的萘及氯乙酸等杂质;     

使用超声搅拌实现精密KOH各向异性体硅腐蚀

对使用超声搅拌和不加搅拌时(100)单晶硅的腐蚀特性进行了研究和对比.使用超声搅拌,可以得到光滑的、无小丘的腐蚀表面,整个硅片腐蚀深度的误差不超过1μm.实验结果表明,该方法可以有效地实现精密KOH各向异性体硅腐蚀.     

我国烤烟种植业重心区位空间分析

利用ArcMap 得出1996-2010 年我国烤烟种植业重心移动轨迹。结果表明,重心区位变化呈西南偏移趋势,偏移距离178.64 km,期间烟叶种植经历了供过于求、“双控”调整和稳步发展阶段,其重心偏移表征了烤烟种植业与价格调整、产区经济结构、烟叶质量、烟叶市场、政策环境等密切相关。     

采用PZT薄膜的体声波RF滤波器设计

在分析体声波滤器的原理、结构及相关参数的基础上,结合锆钛酸铅薄膜的材料特性,提出了一种射频体声波滤波器设计。设计中考虑了衬底、电极的质量加载对中心频点的影响,模拟了不同连接方法下滤波器的频率特性,探讨了薄膜材料的制备、退火、刻蚀工艺的选择与优化。