弗里曼离子源灯丝中毒现象

根据近十年的工作实践，分析了Ｔ５１－２００／ＺＫ型金属离子注入机弗里曼离子源失效机理，着重讨论了以ＭｏＣｌ＿５为工作物质时的灯丝中毒现象。结合作者的工作经验，提出了减少灯丝中毒现象的一些具体措施。     

B、N、Cr、Mo离子注入对纯铁抗腐蚀性能和显微硬度的影响

本文介绍B、N、Cr、Mo离子注入到纯铁中形成的表面合金的腐蚀性能和显微硬度。在0.5mol/lH_2SO_4溶液中的自然腐蚀电位变化不大,临界钝化电流密度和维持电流密度明显降低,钝化范围扩大,显微硬度提高。几种离子组合注入比单一离子注入的效果好。     

微谐振陀螺仪从半球到平面的演变

微谐振陀螺仪是一种固体波动陀螺,常采用微纳制造工艺进行加工,具有小体积、高性能、低功耗、批量化等特点。自1975年世界上第一个半球谐振陀螺诞生以来,微谐振陀螺的谐振子拓扑结构经历了三维结构到二维结构的演变。文章以拓扑结构的发展脉络为主线,对微谐振陀螺的发展过程进行了梳理和总结,最后对目前存在的问题进行了分析,对未来的发展进行了展望。     

钨镍圆柱型热离子能量转换器

一、前言热离子能量转换器利用热电子发射现象,将热能(例如核裂变能,太阳能等)直接转变为电能。这种能量转换器无转动部件,是一种体积小、效率高的静态转换器件。它是一种新型电源,尤其适合于宇航应用。我们对3个     

波浪式MEMS谐振陀螺的设计与研究

提出并研制了一种具有高机械灵敏度和低零偏稳定性的新型波浪式MEMS谐振陀螺(WDRG)。该结构的设计方法是将传统的环式MEMS谐振陀螺(DRG)转变为波浪式环,以提供更高的热弹性品质因数。此外,与传统DRG相比,WDRG具有更高的制造误差抗扰度。通过优化结构参数,进一步提高了WDRG的性能。通过有限元法(FEM)给出了主要结构参数对WDRG性能的影响。优化后WDRG的热弹性品质因数、机械灵敏度和偏置稳定性分别为450k,1.05μm/(°/s)和0.076(°)/h。与传统DRG相比,零偏稳定性降低了90%,热弹性品质因数和机械灵敏度分别提高了215%和950%。