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1.
依据穆勒椭偏测量方法中偏振光的传输方式,提出了一种椭偏系统中光学元件参数的定标方法。通过建立出射光强关于起偏器和检偏器透光轴方位角、旋转补偿器方位角和相位延迟的非线性最小二乘模型,用列文伯格?马夸尔特(Levenberg-Marquardt,LM)算法对初始参数进行迭代。求解出光学元件参数的精确值,从而实现对元件的定标。通过仿真实验,利用已知穆勒(Mueller)矩阵且标定值为(24.90±0.30) nm的SiO2/Si标准样片,基于LM算法迭代计算光强值的残差平方和。实验可得当迭代次数为50次时,残差平方和收敛到最小值0.24;与传统多点标定法进行对比试验,验证了基于LM算法求解光学参数的可行性;用标定值为(91.21±0.36) nm的SiO2/Si标准样片进行验证,得到膜厚的计算值为91.53 nm,相对误差为0.35%。结果表明:在穆勒椭偏系统参数标定中,LM算法具有收敛速度快,计算精度高等优点。  相似文献   
2.
随着在经济一体化时代的即将到来,企业还将面临诸多新的变化,但不管怎么变化,出产品、出人才,建设有中国特色社会主义企业永远是企业的根本任务。因此,在坚持抓好企业生产经营工作的同时,我们应当坚定不移地坚持思想政治工作这条生命线,使企业思想政治工作常做常新,发挥强有力的政治保证作用。  相似文献   
3.
针对不同精度平晶的测量要求,介绍了3种平晶平面度的测量方法.阐述了比较测量的原理以及测量精度的局限性.对于高精度平晶的检测,介绍了2种绝对测量的方法.对这2种方法编制了模拟程序和数据处理程序,并进行了实验.不同方法的测试结果符合较好,面形评价数据在相同数量级上,验证了测试方法的可行性,实现了无参考面的高精度测量.  相似文献   
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