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过滤式阴极电弧沉积类金刚石薄膜的性能分析 总被引:1,自引:1,他引:0
成功地研制了一套过滤式阴极电弧沉积设备,并利用该设备成功获得了类金刚石薄膜。类金刚石薄膜的扫描电镜分析表明:获得的薄膜在硅基片上是光滑和致密的,在Ti合金基片上有裂纹,高速钢基片上有微孔。原子力显微镜分析表明:膜层的表面粗糙度与沉积参数密切相关。喇曼光谱研究表明,这种薄膜是典型的无氢类金刚石薄膜,喇曼光谱的高斯分解表明:随着偏压的变化,D线和G线的位置μD、μG向低频移动,半高宽σD减小。 相似文献
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某广场空调系统冷冻水大温差的适用性分析 总被引:4,自引:1,他引:4
本文以某大型商业广场实际工程为研究对象,通过对冷冻水系统采用标准温差(7℃/12℃)与大温差(6℃/14℃)两种工况下,冷水机组、冷冻水泵、空调末端的初投资及运行能耗变化趋势的具体分析,提出了冷冻水大温差系统的适用性问题。 相似文献
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介绍自行研制的一套过滤式阴极电弧沉积设备,并以石墨作为靶材进行类金刚石薄膜的沉积研究。碳弧本身的惰性限制了电弧的稳定性。电弧电压、磁场等对电弧的稳定性有很大的作用。试验得到表面光滑的类金刚石薄膜,并对其进行了形貌分析。 相似文献
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地铁集中冷站空调冷冻水管网系统非常庞大,不仅输送能耗巨大,而且管网投资费用也很高。本文采用平均最小年费用法,通过技术经济分析比较对管网进行优化设计。 相似文献
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PVDF压电薄膜在结构监测中的应用初探 总被引:11,自引:0,他引:11
本研究对采秀PVDF压电薄膜监测结构的基本特性进行了较为系统的研究,分别做了PVDF压电薄膜监测结构的静态和动态响应实验,实验结果表明,PVDF压电薄膜监测结构应变的灵敏度提高,其静态响应的线性度好很好,而其动态响应同则有非线性和迟滞现象,对于用PVDF压电薄膜监测结构的冲击载荷也进行了初步的研究,实验结果表明采用PVDF压电薄膜可以实时监测结构所受的冲击载荷,并能及时反应出结构所受到的冲击损伤。 相似文献
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设计了一种并联双晶体高速快脉冲源,用于激光物理实验中预脉冲的高速削波。该削波脉冲源采用升压工作模式,由光电转换模块、高压电源模块、开关器件及电路等部分组成。光电转换模块将光信号转变为开关通断信号,用于控制高压脉冲输出;集成的高压电源模块和开关器件简化了电路设计,增加了该电源的可靠性;设计合理的开关电路和元件参数,保证稳定输出符合要求的高压脉冲波形。该快脉冲源的输出脉冲幅度大于4 000 V,下降沿小于10 ns,时间抖动小于1 ns,已成功用于激光物理实验预脉冲的削波。 相似文献
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本文研究了过滤式阴极电弧沉积系统的稳弧工艺参数,通过正交试验获得最佳稳弧参数,并且研究了弯管内置挡板对宏观粒子过滤效果的影响,采用喇曼光谱研究了偏压对生成的类金刚石薄膜性能的影响,证明-100V偏压下,获得的类金刚石薄膜有最佳的sp^3含量,扫描电镜测试表明,在(111)硅基片上获得致密的膜,但在高速钢基体上沉膜堆积现象比较严重,不易获得优质类金刚石膜。 相似文献