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李旦晖 《电子工业专用设备》1981,(2)
<正> 应用红外技术为半导体器件生产服务,这已是国内外早已开展的工作,红外电视显微镜是其中一个很重要的组成部分。它的结构简单,操作方便,用途广泛,观察结果直观可靠,以及部分快速无损检测等优点,为研究解决半导体器件材料各种缺陷和质量问题,提供了极方便的条件和不可缺少的检测分析手段。 相似文献
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