SSX型扫描隧道显微镜及材料表面粗糙度的检测

材料表面相糙度对其机械性能有很大影响,因此对粗糙度的检测是非常重要的。多年来人们一直努力发展粗糙度的检测技术,相继出现了干涉显微镜,接触式轮廓仪等仪器。这些仪器虽然能以较高的深度分辨率在常压下检测多种不同材料表面,但横向分辨率低。例如:接触式轮廓仪的最大横向分辨率只有100nm,即不能探测小于100nm的微观结构。扫描电镜虽然有较高的横向分辨率,但其深度分辨率较低,并且只能在真空环境中工作。八十年代初发展起来的扫描隧道显微镜(STM)开创了观测材料表面微观结构的新途径。这种仪器即使工作在大气环境中也能同时以很高的横向分辨率(最高～0.2nm)和深度分辨率(最高～0.01nm)给出金属、半导体等材料表面的三维图象。本文介绍了我们自己研制的STM并讨论了用STM     

一种原子分辨率扫描隧道显微镜

本文报告了我们自制的扫描隧道显微镜的原理、结构及解决的几个关键技术问题,如样品和针尖间距的粗调和细调,三维扫描和控制压电陶瓷管,针尖的制备,减震阻尼系统和电子线路,最后给出了高定向石墨表面原子排列的线扫描象、亮度调制象和形貌阴影象。