排序方式： 共有1条查询结果，搜索用时 31 毫秒
1
1.
硅(001)衬底上生长的ZnO薄膜的AFM研究 总被引：2，自引：0，他引：2
对采用电子束反应蒸镀方法在低温下在硅（001）衬底上外延生长的ZnO薄膜的表面构像进行了原子力显微镜（AFM）观察，分析研究不同的衬底温度对薄膜表面形貌及结构特性的影响。在250℃衬底温度下获得的ZnO薄膜，膜表面平整，结构致密，表面平均不平整度小于3nm，说明在该衬底温度下获得的ZnO薄膜是高透明度、高质量、高度取向的单晶薄膜。 相似文献
1