比例差值谱技术在微尺度器件可靠性研究中的最新应用

本文应用比例差分(PDO,ProportionalDifferenceOperator)技术提出了一种新的表征微尺度MOS器件负偏置温度不稳定性(NegativeBiasTemperatureInstability,NBTI)的实验方法。和传统方法相比,这种新方法可以避免恢复效应对NBTI表征的影响。使用该方法,本文研究了不同直流应力电压和应力温度对NBTI退化的影响。     

新一代半导体器件参数的比例差值谱系统

1.引言 随着大规模集成芯片上的器件尺寸的微型化,为了解决微小尺度的各种功能器件关键参数的直接提取及建立一种在线的综合检测与分析技术,半导体器件参数比例差值谱系统运用了一种新的数据处理运算概念,即比例差值算符,揭示了元器件的另一种本征特性--比例差分特性.     

面向复杂多陷阱的随机电报噪声提取技术

随着集成电路的发展，器件尺寸不断减小，导致MOSFET栅氧化层中的陷阱增多。低频噪声随之产生，尤其是随机电报噪声RTN变得愈发明显，对器件的可靠性提出了挑战。当器件中的陷阱个数多于1个时，陷阱间的耦合效应也对RTN信号的分析产生了重要影响。因此，开展针对复杂多陷阱情况下的RTN信号的提取技术的研究变得尤为迫切。目前现存的RTN提取技术在处理大数据量时迭代所耗费的时间成本大，且自动化程度不高，这些问题亟需解决。基于RTN信号非高斯性质，提出了自动化检测RTN信号的方法和自动化判定陷阱数方法，使得RTN信号的提取更加准确和高效。另外，还针对迭代过程中重要参数提出了自适应模型的方法，实现了大部分RTN信号提取的迭代加速。最后，对实测RTN信号应用上述方法进行参数提取，并分析了耦合效应对参数产生的影响。