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葛劢翀 《电子工业专用设备》1993,(3)
本文介绍了光刻技术的新进展,分析比较了各种光刻技术的自身优势,展望了它们的前景,探讨了它们在动态随机存取存储器(DRAM)进入G位时代的地位和作用。 相似文献
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