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无线电
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1.
红外焦平面杜瓦排气残余气体分析实验研究
总被引:1,自引:0,他引:1
葛树萍
朱颖峰
《红外技术》
2006,28(5):293-298
实验研究用四极质谱仪对金属杜瓦排气进行长期动态监测,跟踪内部主要气体成分的分压强的大小变化,得出排气工艺对杜瓦内表面放气量大小的影响,介绍了实验的原理、装置、方法、数据和干扰因素,对影响杜瓦真空度的主要气体成分进行了初步研究,提出改进杜瓦排气工艺的可能方向,对工艺处理具有实际意义.
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