用于各向同性湿法刻蚀中的氮化硅掩膜

在硅的各向同性湿法刻蚀过程中,一般选用HNA溶液(即氢氟酸、硝酸和乙酸的混合溶液)作为刻蚀液,而氮化硅以其很好的耐刻蚀性而优先被选为顶层掩膜材料.在硅片上刻蚀不同的结构,通常需要选择不同的刻蚀液配比.而不同配比对于氮化硅掩膜的刻蚀速率也不一样.分别用PECVD和LPCVD两种方法在<111>型硅片上沉积了厚度为560和210 nm的氮化硅薄膜,研究和对比了它们在8种典型配比刻蚀液下的刻蚀速率,为合理制作所需要厚度的氮化硅掩膜提供有益参考.     

石英半球型微谐振器的仿真与加工

该文对石英半球型微谐振器进行了模态仿真,分析了前十阶振型及适合陀螺工作的模态,讨论了谐振器壁厚变化对四波腹模态谐振频率的影响。利用吹玻璃法和湿法腐蚀制作了石英半球型微谐振器,跟踪不同的腐蚀速率得出湿法腐蚀可精确控制壁厚的结论。测试腐蚀后的谐振器表面粗糙度仅为0.581nm,保留了原子级别的光滑度。     

肥胖基因研究进展

我国是世界上的养猪大国,但我国地方猪种瘦肉率低、背膘厚一直是影响经济效益、困扰猪育种工作者的重要问题。如何提高猪瘦肉率是目前畜牧业所面临最大挑战之一。长久以来,动物遗传育种工作者一直希望找到影响猪生长和脂肪蓄积的主效基因。人类对肥胖的研究历时己久,提出诸多学说对肥胖发病机制进行解释。自1994年Zhang等首次分离了小鼠ob基因以来,因其具有调节体重的应用前景而引起人们的关     

仔猪断奶重窝内标准差的母体效应估计

经济性状的数量遗传分析是畜牧学研究的重要内容,它可为家畜育种策略和方法的选择和制订提供理论依据。目前,家畜数量遗传研究的发展趋势主要体现在两个重要方面,一是和分子遗传学结合产生的分子数量遗传学研究,二是针对制约经济效益的新经济性状和动物福利相关的生物学性状进行传统的数量遗传分析。猪是我国第一大产肉家畜,猪的育种在我国畜禽育种工作中占有十分重要     

山西省草地畜牧业可持续发展对策

通过调研分析了山西草地畜牧业发展现状,山西草生态的制约因素,生态环境的恶化已经影响到山西省社会经济的可持续发展,为改变传统的畜牧业生产方式,实现草畜配套发展,提出了山西草地畜牧业可持续发展对策     

基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制作

提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法.该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,肖特BF33玻璃与单晶硅片通过阳极键合工艺键合在一起.介绍了该种陀螺的基本结构、工作原理,并进行了仿真分析,得出该种陀螺具有较小的频率分裂,表现出陀螺效应.最后,通过MEMS工艺进行了实际加工,得到了该种陀螺的实验样品.