基于SOI衬底的宽带低损耗声表面波滤波器研究

使用结构为42°Y-X LiTaO₃(600 nm)/SiO₂(500 nm)/Si的SOI衬底，通过抑制横向模式等优化设计，研制了单端谐振器和声表面波滤波器。经测试，谐振器的谐振频率为1.5 GHz，品质因数(Q)值高达4 000；滤波器的中心频率为1 370 MHz，插入损耗为-1.2 dB，1 dB带宽为74 MHz，相对带宽达到5.4%，阻带抑制大于40 dB，且温度系数在-55~+85 ℃时优于-9×10^-6/℃。该产品具有高频、宽带、低损耗、低温漂、高阻带抑制的特点，其性能指标优异，具有很好的实用性。     

Nb浓度对B2-Ti50-Al-Nbx合金相稳定性和弹性的影响

采用基于密度泛函理论的第一原理赝势平面波方法,计算B2-Ti50 -Al-Nbx晶体的能量、电子结构和弹性性质,通过合金形成热和Born稳定性判据考察Nb浓度对B2-TiAl晶体稳定性的影响,并采用Cauchy压力参数(C12-C44)和B/C44比值表征和评判Nb浓度对B2型TiAl合金延性的影响.结果表明,当Nb含量约大于8.0％时,B2-TiAl-Nb合金才稳定存在.B2 -Ti50 -Al-Nbx 合金的稳定性随着Nb合金化浓度的升高而减弱,弹性模量则呈增强趋势.Nb含量为9.375％时B2 -Ti50 -Al-Nbx合金的延性相对最好,随合金化浓度的增大,B2-Ti50-Al-Nbx的延性整体下降.电子度密度和Milliken电荷占据数的分析有效解释了B2 -Ti50 -Al-Nbx合金的稳定性变化和Nb强化B2-TiAl合金的原因.     

电磁寄生参数在高频SAW滤波器设计中的应用

在设计高频声表面波（SAW）滤波器的过程中,若只考虑封装壳和键合线的电磁寄生参数而忽略汇流条的电磁寄生参数,则SAW滤波器的实际性能易受汇流条寄生参数影响而出现通带波动和驻波增大等问题。该文拟用电声-电磁联合仿真方法设计高频SAW滤波器以解决汇流条寄生参数对SAW滤波器性能的影响。通过此方法研制的滤波器通带插入损耗小于1dB,波动0.5dB,通带内驻波最大值2.1,-1.5dB带宽75.7MHz,-3dB带宽84MHz(相对带宽为4.8%),-30dB带宽112MHz,BW_{-3 dB}/BW_{-30 dB}矩形系数1.33。包含封装壳、键合线及汇流条的寄生参数的理论仿真结果与实验测试结果吻合较好,表明了采用此模型设计高频SAW滤波器的可行性。     

超宽带低损耗SAW滤波器的优化设计

该文介绍了基于大机电耦合系数乐甫波模式的超宽带低损耗声表滤波器的开发,基底为15°YX-LiNbO3晶体和铜电极。设计采用修正的耦合模模型进行精确仿真以及模拟退火算法进行谐振器参数的优化。通过假指电极宽度/长度加权来抑制横向模式谐振造成的寄生响应,通过在滤波器表面涂覆黏性膜来有效抑制瑞利波模式造成的寄生凹坑,最终制作出一款中心频率约620 MHz,插损0.94 dB,-1 dB相对带宽14.9%,-3 dB相对带宽18.3%,带外抑制大于40 dB性能较优良的器件。