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本文介绍了在多自由度纳米定位中，作为表面编码器测量基准的正弦波栅格的复制方法．该栅格表面的形貌为空间正弦波，即沿x和y方向均为波长100μm，振幅100nm的正弦波．这种栅格表面的大小为几十微米至几百微米．在安装了快速刀具伺服机构的金刚石车床上，制成了铝基栅格表面．该加工系统的优点是能够以高精度形成被加工表面，但另一方面，由于是在大面积内形成微观表面，故加工时间较长．为了实现快速制作，进行了基于基表面的复制，栅格表面的复制采取了热模压制法，在高分子薄膜上进行了实验． 相似文献
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