计算机模拟CCD高速线材测量

本文对CCD 在线测量的原理进行了简述。针对其中存在的问题,提出了用计算机软件进行模拟的方法,预测系统的测量误差。内容包括:①被测线材的跳动模拟;②CCD 成象的模拟;③CCD 信号输出及处理的模拟。模拟的过程中考虑了光学衍射、运动模糊,信号传输损失、信噪比等多种因素,使得模拟结果比较接近实际情况。文章还讨论了在应用该软件的基础上,针对某一线材直径在不同跳动量下的测量值,得出了不同跳动量下的阈值分布。分析后认为:单阈值无法解决跳动模糊的问题,进而提出了双阈值方法,并得到了一些结果。     

论等倍投影扫描光学成象照明系统

双球面反射成象系统用于大规模集成电路生产中的硅片光刻和掩模复印有广阔的前景。本文提出用球形高压汞灯代替弧形汞灯作为曝光光源,设计了相应的照明系统以获得弧形照明区。对象平面的照度均匀性进行了分析和测试。本系统可用于复制3μ线宽的掩模板。