激光非接触式表面粗糙度兼位移测量研究

本文采用先进的光纤光学及图像处理技术 ,对激光作用于工件表面的反射光能分布进行研究 ,探讨表面粗糙度与散射光能分布的关系 ,并研制了测试装置 ,通过该测试装置的实验结果表明 ,该装置能实现表面粗糙度及位移的非接触测量。