微机械材料杨氏模量的测量

利用蚀刻硅技术制造的微机械构件,由于特殊的制作工艺而需要对其材料的杨氏模量进行测量.这是随微机械技术的产生而提出的一个新课题.文章综述了已有的测量微机械材料杨氏模量的方法.在此基础上,提出了用声激励谐振法和瞬态激励法来测量微机械材料的杨氏模量,这两种方法具有测试装置简单、测量容易、精度高等特点.     

静电激振法测量微机械材料的杨氏模量

利用蚀刻硅技术制造的微机械构件 ,由于特殊的制作工艺而需要对其材料的机械性能如杨氏模量等进行测试。这是随微机械技术的产生而提出的一个新课题。文章综述了微机械材料杨氏模量的静态测试法。提出了微机械材料杨氏模量的动态测试法———静电激振法。这种方法具有测试装置简单、测量容易、适应性广等特点     

方形电容层析成象系统的仿真研究

本利用自行开发的软平台,引入方形管道电容成象系统的模型,用限元法计算了敏感场的分布,并结合多种图象重建算法针对１２电极方形ＥＣＴ系统进行了仿真实验,得到了令人满意的结果。