表面多孔化Bi2 Te3柔性薄膜的制备及热电性能研究

柔性热电器件能够满足复杂环境的热量收集和转化需求,是目前研究的重要方向之一。但受制于材料电/声输运性能的强关联作用,柔性热电器件的能量转化效率仍然较低。以聚酰亚胺为柔性衬底,采用磁控溅射的方式制备Bi₂Te₃柔性热电薄膜,并通过退火对薄膜表面进行改性。结果表明,高温退火能够诱导Bi₂Te₃薄膜表面产生多孔化结构,且孔隙密度和尺寸可通过退火工艺调控;多孔结构对薄膜的电/声输运性能具有协同优化作用,薄膜热导率较退火前降低约50%,Bi₂Te₃柔性薄膜的热电优值显著提升。